Вакуумных установках

Основными достоинствами вакуумных выключателей являются: большой срок службы без ревизий и ремонтов; взрыво- и пожаробезопасность; широкий рабочий диапазон по температуре окружающей среды (от —50 до +50 °С); высокое быстродействие, время отключения не более 0,025 с, время включения €,01—0,05 с; низкие эксплуатационные расходы на обслуживание; удобство и высокая электробезопасность обслуживания.

Опыт эксплуатации вакуумных выключателей на открытых разработках подтвердил их преимущества по сравнению с масляными. В настоящее время вакуумные выключатели широко применяют на карьерах многих горных предприятий.

ной аппаратуры, МЗВВ — Минусинский завод высоковольтных вакуумных выключателей. с

Параметры Шкафы выкатного исполнения на базе маломасляных и вакуумных выключателей

В некоторых случаях какое-то требование к контактам является столь важным, что приходится выбирать материал, обладающий заведомо плохими свойствами в отношении других требований. Примером может служить выбор контактного материала для вакуумных выключателей, где требуется возможно меньшая скорость испарения металла, возможно меньшее содержание газов, способность выдерживать высокие температуры отжига, являющегося необходимой технологической операцией для снятия внутренних механических напряжений. Такими свойствами обладает только вольфрам, который, однако, имеет высокую твердость и малую электропроводность, что вызывает необходимость создания большого контактного нажатия. Кроме того, применение вольфрама связано с тем, что из-за высокого потенциала ионизации вакуумная дуга на вольфрамовых контактах гаснет значительно раньше прохождения тока через нуль и на вольфрамовых контактах возникает срез тока, увеличивающий перенапряжения при коммутации. Однако специфические требования к вакуумным материалам предопределяют использование вольфрама или метал-

ниях тока. Это связано с тем, что в вакууме до тока 6—10 кА разряд сохраняет диффузную форму, при которой основания дуги (на катоде) расщеплены, и эрозия контактов происходит преимущественно за счет испарения. При увеличении тока сверх этого значения возникает концентрированная (сжатая) дуга, резко возрастает выделяющаяся в ней энергия и эрозия электродов. Необходимо также учесть, что на эрозию контактов (и на электрическую прочность промежутка) в вакууме существенно влияет десорбция газов, находящихся в материале контактов, по мере воздействия дуговых разрядов. Кроме того, контакты вакуумных выключателей должны обладать возможно меньшим током

среза, что достигается путем введения в контактныи материал соответствующих добавок (металлов с малой температурой кипения). В последнее время большое внимание уделяется разработке новых контактных материалов для вакуумных выключателей с малым газосодержанием, обеспечивающих высокую электрическую прочность межконтактного промежутка.

Недостатками вакуумных выключателей являются:

Достоинства вакуумных выключателей: простота конструкции; высокая

Недостатки вакуумных выключателей: сравнительно небольшие номинальные токи и токи отключения, возможность коммутационных перенапряжений при отключении малых индуктивных токов.

как для внутренней, так и для наружной установки. Последние пять групп выключателей ограничиваются конструкциями на сравнительно малые мощности отключения (до 50—300 MB-А), токи (до 300 — 600 А) и напряжения (до 6—15 кВ), за исключением вакуумных выключателей и выключателей со сжатым

Изготовление обмоток, как было указано выше, обеспечивается на высокопроизводительных намоточных станках, а пропитка их - на вакуумных установках.

Отжиг пленок производится в вакуумных установках непосредственно после напыления при температуре подложек, несколько превышающей температуру подложек при напылении. Это делается для упорядочения структуры и уменьшения внутренних механических напряжений пленок с целью повышения их стабильности и улучшения адгезии к подложкам. При этом сопротивление резистивных и проводящих пленок снижается.

Ионное легирование — это технологическая операция введения примесей в поверхностный слой пластины или эпитаксиальной пленки путем бомбардировки ионами примесей [171. Получение ионов, их ускорение и фокусировку производят в специальных вакуумных установках. Пари легирующих элементов поступают в ионизационную камеру, где возбуждается высокочастотный или дуговой электрический

996° С, осуществляют обычно на многопозиционных вакуумных установках УВН при непрерывном вращении многопозиционной карусели с подложками, при остаточном давлении порядка 10~6 мм рт. ст. и температуре подложек 200° С.

Качество работы форвакуумных насосов зависит от точности пригонки всех трущихся деталей, качества масла, которое покрывает все трущиеся поверхности .и тем самым создает непроницаемость для откачиваемого газа в подвижных сочленениях. Вследствие высокой скорости откачки, простоты, надежности механические форвакуум-лые насосы широко применяют в вакуумных установках.

Диффузионный 'высоковакуумный насос является основным типом, применяемым в производственных вакуумных установках.

Вакуумное термическое распыление широко применяют для получения резистивных пленок, проводников из меди, алюминия и некоторых других сплавов, диэлектрических пленок из окиси кремния. Основные преимущества этого способа: высокая чистота получаемой пленки,удобство контроля ее толщины в процессе напыления, простота и низкая себестоимость, сравнительно легкая автоматизация процесса позволяет создавать установки и комплексы, управляемые с помощью ЭВМ. К недостаткам этого способа можно отнести изменение процентного соотношения составляющих при испарении веществ сложного состава, малую равномерность пленки по толщине при осаждении на большую площадь из точечных источников, трудность испарения тугоплавких материалов, высокую инерционность процесса при использовании термических испарителей, сравнительно невысокую прочность сцепления пленки с подложкой. Частично недостатки уменьшаются отжигом пленки, который осуществляется в вакуумных установках непосредственно после напыления при температурах подложек, несколько превышающих температуру напыления. Это производится для упорядочения структуры и уменьшает внутренние механические напряжения пленок с целью повышения их стабильности и улучшения адгезии к подложке. В процессе отжига межзеренные промежутки в пленках уменьшаются и, следовательно, снижается число структурных дефектов. При этом сопротивление резистивных и проводящих пленок уменьшается.

996° С, осуществляют обычно на многопозиционных вакуумных установках УВН при непрерывном вращении многопозиционной карусели с подложками, при остаточном давлении порядка 10~6 мм рт. ст. и температуре подложек 200° С.

Качество работы форвакуумных насосов зависит от точности пригонки всех трущихся деталей, качества масла, которое покрывает все трущиеся поверхности .и тем самым создает непроницаемость для откачиваемого газа в подвижных сочленениях. Вследствие высокой скорости откачки, простоты, надежности механические форвакуум-лые насосы широко применяют в вакуумных установках.

Диффузионный 'высоковакуумный насос является основным типом, применяемым в производственных вакуумных установках.

В технологических вакуумных установках используют следующие способы откачки: