Требуемой чувствительности

До недавнего времени производство аналоговых ИМС ограничивалось техническими возможностями изготовления активных и пассивных элементов с требуемыми параметрами, а их применение определялось мощностью и способностью преобразования сигналов переменного тока. По мере усовершенствования технологии и методов проектирования номенклатура и выпуск аналоговых ИМС увеличиваются. Этому способствуют такие факторы:

Пленарный процесс заключается в создании на поверхности кремния пленки диоксида кремния (SiOj) толщиной 0,1 — 1 мкм путем окисления пластины кремния в среде кислорода при высокой температуре и проведения фотолитографической обработки. При проведении фотолитографической обработки на окисленную пластину кремния наносят слой фотоэмульсии — фоторезист — и экспонируют " его через фотошаблон, содержащий множество идентичных рисунков, задающих конфигурацию элементов активных структур приборов. Засвеченные участки фоторезиста проявляют, т. е. удаляют, в растворителе. Затем в растворе, содержащем плавиковую кислоту, травят обнажившуюся в отверстиях фоторезиста пленку диоксида кремния — вскрывают в ней «окна». Оставшийся фоторезист полностью удаляют. Далее проводят диффузию примеси. Скорость диффузии примеси в полупроводник через окно и в защитной пленке диоксида кремния (для акцепторной примеси бора и донорных примесей фосфора или мышьяка) сильно отличается. Возможность замедления и полного исключения диффузии примеси в участки кремния, защищенного слоем диоксида кремния, определила выбор планарного процесса для массового изготовления полупроводниковых приборов и ИС, в том числе и биполярных транзисторов. Процесс диффузии усовершенствован до такой степени, что стало возможным создавать р-п переходы, глубина которых контролируется с точностью до долей микрометра. Это достигается тем, что процесс диффузии проводится в две стадии. На первой стадии, называемой процессом загонки легирующей примеси, в полупроводниковую пластину вводится строго заданное количество примеси. На второй стадии процесса диффузии— стадии разгонки —эта примесь распределяется на нужную глубину и образует профиль распределения примеси с требуемыми параметрами, который удовлетворительно описывается законом Гаусса

Для повышения производительности контроля пассивной части проводят оптимизацию контрольных точек, оставляя только те цепи, в которых вероятность появления дефекта выше и дефект не может быть обнаружен визуальным осмотром. Это позволяет сократить число проверок на 50 %. Основная трудность при автоматизации проверок пассивной части — отсутствие контактирующих устройств с требуемыми параметрами.

Основной особенностью конструирования полупроводниковых интегральных схем является необходимость учета взаимосвязи между параметрами элементов, создаваемых тем или иным способом, электрофизическими параметрами материалов, из которых создаются элементы, физическими процессами в них и технологией изготовления. Размеры и форму каждого элемента микросхемы задают фотошаблоном и режимом локальной диффузии, т. е. подбирая размеры фотошаблона, концентрацию примесей, режимы диффузии и т. п., можно создавать элементы с требуемыми параметрами.

До недавнего времени производство линейных ИМС ограничивалось техническими возможностями изготовления активных и пассивных элементов с требуемыми параметрами, а их применение определялось мощностью и способностью преобразования сигналов переменного тока. По мере усовершенствования технологии и методов проектирования номенклатура и выпуск линейных ИМС увеличиваются. Этому способствуют следующие факторы:

До сравнительно недавнего времени производство линейных интегральных микросхем ограничивалось техническими возможностями изготовления активных и пассивных элементов с требуемыми параметрами, а возможности их применения определялись мощностью и способностью преобразования сигналов переменного тока. По мере усовершенствования технологии и методов проектирования номенклатура и выпуск линейных интегральных микросхем увеличиваются. Этому в основном, способствуют следующие факторы:

Плавкие предохранители могут применяться для защиты от многофазных замыканий силовых трансформаторов, тупиковых линий, электродвигателей и батарей статических конденсаторов во всех случаях, когда они могут быть выбраны с требуемыми параметрами (номинальные напряжения и токи, предельно отключаемые токи и пр.) и обеспечивают избирательность и необходимую чувствительность.

Если входы Ei, Е2> Еъ ( 3.91) подключены к высокому потенциалу, система управления будет обеспечивать алгоритм переключений, приведенный на 3.35,в. Включенные на выходе транзисторные каскады усиливают сигналы управления в соответствии с требуемыми параметрами цепи базы транзисторов силовой части схемы

групп тиристоров БСГТ. Угол включения тиристоров а изменяется с помощью СИ ФУ, вырабатывающей импульсы управления, синхронизированные с сетью, с помощью напряжения синхронизации "у,о, получаемого от блока синхронизации БС. Источником задающих сигналов по пути и скорости, сформированных в соответствии с требуемыми параметрами оптимальной диаграммы, является блок задания БЗ.

При отсутствии серийно выпускаемых фильтров с требуемыми параметрами производится расчет и изготовление фильтров по индивидуальному проекту.

Система вторичного электропитания — совокупность функционально связанных источников или, в частном случае, одного источника вторичного электропитания, устройств управления, коммутации, распределения, защиты, контроля и сигнализации, предназначенная для подключения к промышленным сетям переменного тока или автономным источникам электроснабжения и обеспечивающая по заданной программе электропитание всех цепей РЭА, путем формирования необходимых для их работы питающих напряжений с требуемыми параметрами.

ные токовые защиты не обеспечивают требуемой чувствительности. Защита от Кз1, если она оказывается необходимой, выполняется обычно токовол нулевой последовательности с однотрансформатор-ными фильтром; начинают использовать и другие защиты (гл. 7). Защиты от сверхтоков в зависимости от их назначения и области использования выполняются токовыми, тепловыми или минимальными напряжения. Последние применяются также для облегчения самозапуска более ответственных двигателей и обеспечения безопасности обслуживающего персонала (например, на двигателях станков) и т. п. Особое внимание уделяется выполнению защиты двигателей ответственных механизмов собственных нужд электрических станций и мощных двигателей некоторых других производств.

При этом просвечивание деталей с малой толщиной такими источниками излучения, как кобальт-60 .и тулий-170, требует больших затрат, чем при исследовании для этой цели источников излучения цезий-137 и иридий-192. Увеличение просвечиваемой толщины увеличивает и затраты, что говорит о целесообразности во всех случаях увеличения активности источников при условии получения снимков требуемой чувствительности.

Для электродвигателей номинальной мощностью 4000 кВт и более применяется продольная дифференциальная токовая защита без выдержки времени. Эта же защита может применяться на электродвигателях меньшей мощности, если применение токовой отсечки не обеспечивает требуемой чувствительности, а со стороны нулевых выводов обмотки статора имеются или могут быть установлены трансформаторы тока.

Для токовых отсечек электродвигателей рекомендуются реле серии РТ-40 или РНТ-565, имеющие встроенные Насыщающиеся трансформаторы и обладающие улучшенной отстройкой от токов переходного процесса при пусте и самозапуске. Применение реле типа РНТ-565 может оказаться целесообразным, если токовая отсечка с реле РТ-40 не удовлетворяет требуемой чувствительности, а повышение чувствительности на 20 — 30 % оказывается достаточным с точки зрения соответствия требованиям ПУЭ.

При работе на низших ступенях регулирования индуктивное сопротивление трансформатора может быть такой величины, при которой ток к. з. на стороне вторичного напряжения будет недостаточен для получения требуемой чувствительности защиты.

Пусковой орган нулевой последовательности. В сетях с глухо-заземленными нейтралями пусковые органы, реагирующие на полные токи и напряжения фаз, в некоторых случаях не обеспечивают требуемой чувствительности защиты при однофазных коротких замыканиях на землю. При этом более чувствительным оказывается пусковой орган тока нулевой последовательности, реле KAZ которого включается на разность токов нулевой последовательности параллельных линий ( 10.9, б). Если разновременность отключения фаз выключателей меньше времени действия защиты, то ток срабатывания пускового органа можно отстраивать только от максимального расчетного тока небаланса при внешних коротких замыканиях ня землю. При этом не исключена возможность срабатывания реле тока нулевой последовательности при трехфазных и двухфазных коротких замыканиях вблизи места установки защиты, при которых токи небаланса могут иметь максимальное значение. Это необходимо иметь в виду, если при срабатывании пускового органа тока нулевой последовательности комплект защиты от многофазных коротких замыканий выводится из действия. Загрублять пусковой орган нулевой последовательности в таких случаях нецелесообразно. Для исключения неправильной работы пусковой орган дополняется реле напряжения нулевой последовательности KVZ. Осуществлять пуск защиты при коротких замыканиях на землю только с помощью одного реле напряжения нулевой последовательности нельзя, так как при внешних коротких замыканиях на землю защита может срабатывать неправильно.

Из этого распределения следует, что ток /р = /
выбирается по условию обеспечения требуемой чувствительности при каскадном отключении металлического КЗ в конце зоны резервирования по выражению

Когда IV ступень не удовлетворяет условиям чувствительности, допустимо выбрать ток срабатывания по условию обеспечения требуемой чувствительности и дополнительно проверить выбранный ток срабатывания по условию отстройки от тока небаланса в максимальном нагрузочном режиме.

Первичное сопротивление срабатывания III ступени выбирается по условию получения требуемой чувствительности при каскадном отключении металлического КЗ в конце зоны резервирования:

определяется первичное сопротивление срабатывания II ступеней защиты по условию обеспечения требуемой чувствительности при каскадном отключении металлического КЗ в конце смежных линий;