Температура осаждения

Протекающий по проводнику с активным сопротивлением ч ток / выделяет в нем за время t тепловую энергию Q = I24t (в Дж), что приводит к нагреву проводника до определенной температуры. Эта температура не должна превышать допустимой для проводов данной марки или линии данной конструкции. Допустимая температура определяется условиями надежной работы контактных соединений и изоляции провода. В частности, длительно допустимые температуры •бдоп и кратковременно допустимые температуры тЭ'доп при перегрузках имеют соответственно значения (в°С):

Протекающий по проводнику с активным сопротивлением г ток / выделяет в нем за время t тепловую энергию Q = I2rt, что приводит к нагреву проводника до определенной температуры, которая не должна превышать допустимой для проводов данной марки или линии данной конструкции. Допустимая температура определяется условиями надежной работы контактных соединений и изоляции провода.

Между реперными точками температуру определяют с помощью интерполяционных эталонных приборов и соответствующих интерполяционных формул. Для воспроизведения шкалы в диапазоне от —259,34 до 630,74 °С служит платиновый термопреобразователь сопротивления, в диапазоне 630,74... 1064,43 °С— платино-платиноро-диевый термоэлектрический термопреобразователь, а свыше 1064,43 °С температура определяется из отношения спектральной энергетической яркости излучения абсолютно черного тела при данной температуре к спектральной энергетической яркости излучения при температуре затвердевания золота при той же длине волны.

ность между источником тепла и охлаждающей средой, тогда как в установившемся режиме температура определяется теплопроводностью. Исключительную роль играют переходные процессы, в системах автоматического управления, в импульсной и измерительной технике.

Между реперными точками температуру определяют с помощью интерполяционных эталонных приборов и соответствующих интерполяционных формул. Для воспроизведения шкалы в диапазоне от —259,34 до 630,74 °С служит платиновый термопреобразователь сопротивления, в диапазоне 630,74... 1064,43 °С — платино- платиноро-диевый термоэлектрический термопреобразователь, а свыше 1064,43 °С температура определяется из отношения спектральной энергетической яркости излучения абсолютно черного тела при данной температуре к спектральной энергетической яркости излучения при температуре затвердевания золота при той же длине волны.

Если в момент времени t — t' температчра всюду была раина нулю, то в момент времени (/-/') в плоскости х температура определяется функцией влияния, вытекающей из выражения (7.44.:

Максимально допустимая температура термистора — это температура, при которой еще не происходит необратимых изменений параметров и характеристик термистора. Максимально допустимая температура определяется не только свойствами исходных материалов термистора, но и его конструктивными особенностями.

Допустимые температуры изолированных проводников и деталей определяются нагревостойкостью (классом) изоляции (ГОСТ 8865 — 70), а также механической прочностью материала деталей. При температурах, превышающих 200 °С, механическая прочность проводниковых материалов резко снижается. Для неизолированных деталей допустимая температура определяется механическими свойствами материалов, из которых они изготовлены, или свойствами материалов изоляционных деталей, с которыми они соприкасаются.

Электромеханическое преобразование энергии в электрических машинах сопровождается преобразованием электрической или механической энергии в тепло. Тепло, выделяемое при работе машины, нагревает отдельные части электрической машины, повышая их температуру. Чрезмерное повышение температуры может вызвать в электрических машинах снижение электрической и механической прочности изоляции обмоток. Допустимая предельная температура определяется классом Нагревостойкости изоляции обмоток.

При изменении температуры методом термометра согласно ГОСТ 11828-75 температура определяется термометром, прикладываемым к доступным поверхностям.

Допустимые температуры изолированных проводников и деталей определяются нагревостойкостью (классом) изоляции (ГОСТ 8865 — 70), а также механической прочностью материала деталей. При температурах, превышающих 200 °С, механическая прочность проводниковых материалов резко снижается. Для неизолированных деталей допустимая температура определяется механическими свойствами материалов, из которых они изготовлены, или изоляционными деталями, с которыми они соприкасаются.

Диэлектрическая пленка Состав реагентов Температура осаждения, °С

Диэлектрическая пленка Состав реагентов Температура осаждения, °С

Основным достоинством этого реактора является низкая температура осаждения пленок. Однако он имеет и недостатки — небольшой объем, трудность автоматизации загрузки и разгрузки и возможность загрязнения подложек рыхлым осадком. Основные реагенты для осаждения пленок оксида и нитрида кремния: плазмохимическим методом приведены в табл. 2.

Реакции Температура осаждения

Оригинальный электролит для нанесения алюминиевых покрытий разработан в МХТИ нм Менделеева. Он состоит из смеси А юрндов алюминия, 58 % (по массе) н тетраэтиламмоиия 42 % (по маес2) В процессе реакции температура смеси поднимается до 100—110 "С смесь переходит нз твердого в жидкое состояние и используется в качестве электролита. Рабочая температура осаждения алюшшия 50—70 °С, ',!== 100ч-150 А/дм2. Анодами с ТУЖИТ алюминий [47].

Температура осаждения, °С

2) темновая проводимость и энергия активации р-слоев сильно зависят от температуры подложки; для получения проводимости > 10"3 См/см и энергии активации < 0,2 эВ требуется температура осаждения выше 300 °С;

Сначала р- и и-слои осаждались при 300 °С, температура осаждения /-слоя изменялась. С повышением температуры осаждения /-слоя напряжение холостого хода Voc снижалось, а коэффициент заполнения КЗ увеличивался (см. 5.5.5, а). Такое изменение Voc хорошо согласуется с изменением оптической ширины запрещенной зоны в /-слое, получаемом из измерений коэффициента поглощения. Наибольшее значение к.п.д. было получено в случае осаждения /-слоя в интервале температур 200-250 °С.

Затем ( 5.5.5, б) температуры осаждения /- и р-слоев фиксировались соответственно при 200 и 300 °С, а температура осаждения и-слоя изменялась, значение Voc было постоянным — 0,83 В при Тпоцд 200 °С, а КЗ постепенно снижался при температурах < 250 °С.

' Далее, как показано на 5.5.5, в изменялась температура подложки при осаждении р-слоя, а температура осаждения п- и /-слоев составляла 250 °С. Следует отметить, что при осаждении р-слоя при температурах < 250 °С следует учитывать влияние отжига р-слоя на характеристики элемента. СЪгласно данным 5.5.5, в значение Voc сохраняется постоянным в диапазоне Тполл = 150-=-350°С, в противоположность этому энергия активации р-слоя уменьшается с повышением температуры осаждения. Такое поведение может быть связано с влиянием отжига р-слоя. Максимальное значение к.п.д. отмечается при Тпоцд = 300 °С.

Температура осаждения 274