Температуры осуществляется

В настоящее время применяют несколько модификаций этого метода. Например, для нагрева пьедестала используют источники инфракрасного излучения большой интенсивности, токи высокой частоты, создаваемые высокочастотным генератором, или резистив-ный нагрев. Известны также вертикальные реакторы, обычно имеющие колоколообразную камеру, в которой подложки расположены вертикально на вращающейся пирамиде. Эти установки работают при атмосферном давлении, обладают низкой производительностью и требуют ручной загрузки подложек. Однородность получаемых на них пленок по толщине не превышает 10 %. В табл. 1 приведены составы реагентов, используемых в подобных системах для получения пленок оксида и нитрида кремния, и температуры осаждения.

Упругие напряжения в пленках SiO2 зависят от температуры, скорости осаждения, режимов отжига, состава примесей и др. В нелегированных пленках, осажденных при 400—800° С, растягивающие напряжения достигают 10—40 ГПа. С ростом температуры осаждения до 650—750 °С появляются слабые сжимающие напряжения до 10 ГПа, но при дальнейшем росте температуры до 900 °С они возрастают до 20—30 ГПа.

Наиболее важны ИЛР, возникающие при вакуумном осаждении металлических пленок. На 3.5 представлено изменение линейных размеров ИЛР пленок Kapton после нанесения слоев Сг — Си — Сг толщиной 1 мкм в зависимости от температуры осаждения (учитывался дополнительный нагрев подложки во время осаждения). С уменьшением температуры осаждения снижается не только ИЛР, но и ее разб С учетом приведенных данных для заданных габаритов модуля полиимидной пленки, а также размеров контактных площадок и переходных отверстий можно опреде-

Осаждение арсенида галлия на подложки из GaAs с ориентацией (100), (110), (111) происходит в интервале температур 450 — 700 °С. Подвижность носителей заряда в слое увеличивается с уменьшением температуры осаждения. Процесс синтеза арсенида галлия в системе (CH3)3Ga — AsH3 — Н2 протекает по реакции

Для получения плотных поликристаллических стержней, используемых в дальнейшем для выращивания монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки, рекомендуется в начале процесса в течение 5—10 мин увеличивать концентрацию хлорсиланов в ПГС до 50, а затем снижать ее до 4—10 % (объемн.) при сохранении постоянной объемной скорости подачи водорода. С этой же целью в ПГС вводят небольшое количество паров воды, препятствующей дендритному росту кристаллитов осаждающегося кремния. Получению стержней с плотной структурой способствует также снижение температуры осаждения в начале процесса: для термического разложения моно-силана до 700—800 °С, для водородного восстановления трихлорсилана до 950—1100 °С.

и последующего его удаления вместе с окисью углерода [207]. Более или менее плотные карбонильные покрытия с невысокой твердостью получаются при температуре подложки 450° С и при давлении выделяющегося СО примерно 0,1 мм рт. ст. Повышение температуры осаждения влечет активацию протекания реакции разложения и приводит к образованию пористых осадков с плохим сцеплением. Для получения хорошей адгезии покрытия с поверхностью подложки необходимы высокие температуры, при которых увеличивается скорость диффузии атомов покрытия в материале подложки. Однако при этом теряется основное преимущество этого метода, как низкотемпературного.

По своей структуре покрытия из фторидного молибдена представляют собой совокупность столбчатых кристаллов, размер которых в направлении, перпендикулярном направлению роста, зависит от температуры осаждения (табл. 5.1).

ристики элемента почти не влияют поры в a-Si: Н, выращенном на полированной нержавеющей стали с указанной выше шероховатостью поверхности. При использовании морфологии роста пленок a-Si: Н с n-i-p-структурой (общая толщина 5400 А), осаждаемых на полированную нержавеющую сталь выявлено, что состояние поверхности в значительной мере определяется условиями осаждения р-слоя, который первым формируется на нержавеющей стали. На 5.3.1 представлено изменение морфологии поверхности при изменении температуры осаждения и уровня легирования В2Н6. Заштрихованная часть является той областью, в которой наблюдается образование дефектов на поверхности. Поскольку шероховатость поверхности является потенциальным источником пор в a-Si: Н, р-слой должен осаждаться при надлежащих условиях (см. 5.3.1). Коэффициенты термического расширения a-Si: Н и нержавеющей стали существенно различаются. Солнечные элементы в процессе коммутации, герметизации и службы подвергаются действию различных температур. Термомеханические напряжения из-за изменения температуры будут влиять на характеристики элементов. Для оценки этого влияния приведены термоциклические испытания и испытания на изгиб солнечных элементов на основе a-Si: Н, выполненных на подложках из нержавеющей стали размером 7X7 см2 [49]. Результаты испытания (табл. 5.3.1) показывают, что после 10 термических циклов какого-либо заметного изменения характеристик элементов не наблюдается. Внешний вид элементов также не изменился при обычных условиях испытания. Только при очень жест-

5.5.5. Влияние температуры осаждения (а - г'-слоя, б - п-слоя; в - р-слоя) на фотоэлектрические свойства солнечных элементов р-г-и/оксиды индия - олова на основе a-Si : Н, изготовленных на зеркально полированной пластине [78]: Нерж. ст. - нержавеющая сталь; ОНО - оксиды индия - олова; Var. - переменная

На 5.5.5 отражено влияние температуры осаждения (Гподл) на фотоэлектрические свойства солнечных элементов на основе р-/-п/окси-ды индия—олова a-Si: Н, полученных на зеркально-полированной пластине нержавеющей стали.

Сначала р- и и-слои осаждались при 300 °С, температура осаждения /-слоя изменялась. С повышением температуры осаждения /-слоя напряжение холостого хода Voc снижалось, а коэффициент заполнения КЗ увеличивался (см. 5.5.5, а). Такое изменение Voc хорошо согласуется с изменением оптической ширины запрещенной зоны в /-слое, получаемом из измерений коэффициента поглощения. Наибольшее значение к.п.д. было получено в случае осаждения /-слоя в интервале температур 200-250 °С.

Время разогрева в 2 — 3 раза меньше, чем разогрев в масляной ванне. Контроль температуры осуществляется термометром или термопарой. Индукционная установка смонтирована на асбоцементной плите 4.

Двухчастотный нагрев. Можно выделить два основных применения двухчастотного нагрева. В первом случае используется предварительный нагрев на частоте 50 Гц стальных заготовок до точки Кюри, после чего нагрев до требуемой температуры осуществляется на средней частоте. Применение промышленной частоты позволяет уменьшить стоимость установки и расход электроэнергии за счет отсутствия преобразователя частоты на начальной стадии нагрева. Этот способ целесообразен при создании установок большой мощности (свыше 1 МВт) для нагрева заготовок диаметром менее 180 мм, когда нагрев выше точки Кюри на частоте 50 Гц неэффективен. Во втором случае падение интенсивности нагрева при потере заготовкой магнитных свойств используется для выравнивания температуры по длине изделий. Заготовки, имеющие переменную начальную температуру, например прутки, частично откованные на горизонтально-ковочной машине, нагреваются в периодическом индукторе на частоте 50 Гц, после чего нагрев ведется на средней частоте в другом или в том же индукторе (в этом последнем случае обмотка индуктора имеет несколько слоев). При 50 Гц все слои включены последовательно, а на средней частоте к источнику подключается только внутренний слой. Для улучшения загрузки источников установки снабжаются двумя индукторами. Мощность установок 250—-500 кВт по каждой из частот [411.

на сопротивлении R, усиливаемое усилителем постоянного тока (лампы Jt\ и
Жарочный шкаф плиты представляет собой металлическую коробку размером 550X300X799 мм с теплоизолированными стенками. Внутри шкафа (над сводом) и внизу расположено по четыре трубчатых электрических нагревательных элемента ТЭНа. Мощность шкафа 4,5 кВт. Управление верхними я нижними нагревателями раздельное и имеет 3 ступени нагрева. Автоматическое регулирование температуры осуществляется при помощи терморегулятора ТР-1 или ТР-4 с .пределом регулирования температуры от 100 до 300° С. Продолжительность разогрева камеры шкафа до рабочего состояния составляет 40—50 мин.

температуры осуществляется с помощью термопары ТП, вырабатывающей электрический сигнал t/T) пропорциональный температуре. Запись температуры производится пишущим устройством ПУ, приводимым в движение исполнительным асинхронным микродвигателем ИД типа РД-09 со встроенным редуктором, на диаграммной ленте ДЛ, перемещаемой с постоянной скоростью с помощью синхронного реактивного микродвигателя СД типа СД-54.

Контур стенда перед разогревом заполняют водой до некоторого расчетного уровня в компенсаторе объема 24, после чего в нем создается поддавливание газом с таким расчетом, чтобы при выходе стенда на спецификационный режим по температуре за счет расширения воды давление газа в компенсаторе объема (а следовательно, и в контуре) тоже стало расчетным. Из условий 'безопасности целесообразно не устанавливать отсечную арматуру на трубопроводе, соединяющем компенсатор с основным контуром. Для обеспечения штатного охлаждения испытываемого насосного агрегата, а также другого вспомогательного оборудования стенд содержит теплообменники 23. Контур заполняется дистиллированной водой, а отвод тепла из него (для поддержания требуемой температуры) осуществляется подачей в теплообменник технической воды. При этом нужно обеспечить очистку ее от механических примесей и поддержание температуры на нужном уровне. Однако практика работы подтверждает целесообразность создания специального замкнутого контура охлаждения.

ГГри любом методе прогрева и сушки — горячим ли воздухом, электрическим ли током — тщательно следят за тем, чтобы обмотки и части просушиваемого электродвигателя не нагревались свыше допустимой температуры, установленной существующими нормами для различных частей машины (65—70°С). Контроль температуры осуществляется термометрами или с помощью термопар, помещаемых в различных неподвижных частях электродвигателя. При применении термопар к ним подключают специальный гальванометр, шкала которого градуируется в градусах. Гальванометр с помощью переключателя включается на ту или иную термопару для измерения температуры. Для периодических измерений температуры вращающейся части машины электродвигатель останавливают.

лабораторного автотрансформатора. Измерение температуры осуществляется с помощью термопары.

Для выяснения сущности этого метода обратимся к тепловым расчетам электрических машин, выполняемым по тепловым схемам замещения. Определение превышений температуры осуществляется по тепловой схеме замещения ( 6.7), представляющей разветвленную электрическую цепь с постоянными сопротивлениями и несколькими источниками. Расчет превышений температуры отдельных узлов электрической машины сводится к определению тепловых потоков Q, проходящих через эти узлы ((?л, (2л — тепловые потоки, проходящие через лобовые части обмоток статора и ротора соответственно; QCT, (2С'Т — тепловые потоки, проходящие по стали статора и ротора соответственно) от каждого источника потерь Р, умножению этих потоков на соответствующие тепловые сопротивления R (Rnp, Rm, Rj,, RCB — сопротивления провода, изоляции паза, лобовых частей, границы «сталь—воздух») для получения частичных превышений температуры и последующему

Измерение температуры. Температура — физическая величина, определяемая как параметр состояния термодинамического равновесия микроскопических систем. Температура - величина экстенсивная, т.е. измеряемая косвенным образом в результате преобразования ее в какую-либо интенсивную (непосредственно измеряемую) величину, например, электрический ток. Методы измерения температуры принято делить на две большие группы - контактные и бесконтактные, которые в свою очередь подразделяются по физическим эффектам, положенным в основу принципа их действия. Для измерения температуры применяются контактные и бесконтактные методы. Контактное измерение температуры осуществляется с помощью жидкостных и манометрических термометров, термопар, термометров сопротивления, термоиндикаторов.

Для измерения температуры применяются контактные и бесконтактные методы. Контактное измерение температуры осуществляется с помощью жидкостных и манометрических термометров, термопар, термометров сопротивления, термоиндикаторов. Бесконтактные методы теплового контроля основаны на использовании инфракрасного излучения, испускаемого всеми нагретыми телами. Инфракрасное излучение занимает широкий диапазон длин волн от 0,76 до 1000 мкм. Спектр, мощность и пространственные характеристики этого излучения зависят от температуры тела и его излучательной способности, обусловленной, в основном, его материалом и микроструктурными характеристиками излучающей поверхности. При повышении температуры мощность излучения быстро растет, а ее максимум сдвигается в область более коротких длин волн. По характеру получения информации различают пирометры для локального измерения температуры в данной точке объекта и пирометры для анализа температурных полей - тепловизоры. По принципу действия различают яркостные, цветовые и радиационные пирометры. Принцип действия яркостных пирометров основан на зависимости спектральной яркости нагретых тел от температуры, описываемой законами Планка и Вина. Действие цветовых пирометров основано на сравнении интенсивности излучения объекта в двух спектральных диапазонах. Логарифм их отношения обратно пропорционален цветовой температуре объекта. Действие радиационных пирометров основано на использовании закона Стефана-

Камеры холода представляют собой установку, рабочий объем которой имеет надежную термоизоляцию. Его охлаждение до требуемой температуры осуществляется холодильным агрегатом, работающим на основе жидкого фреона. Постоянная рабочая температура поддерживается так же, как и в камере тепла.