Резистивными элементами

К процессам термического испарения относится испарение: а) из резистивных испарителей (проволочных, ленточных), включая взрывное испарение с применением вибропитателей; б) из тиглей с радиационным и высокочастотным индукционным нагревом; в) с помощью электронно-лучевых испарителей (за счет сфокусированного луча). К процессам ионного распыления относится: а) катодное (диодная система); б) ионно-плазменное (триодная система); в) с помощью сфокусированных ионных пучков; г) магнетронное.

Хорошее качество пленок получается и при электроннолучевом нагреве навески алюминия (вместо нагрева с помощью резистивных испарителей). Скорость испарения алюминия при этом можно изменять в широких пределах в зависимости от мощности электронного пучка.

Резистивные испарители косвенного подогрева более универсальны, так как позволяют испарять проводящие и непроводящие материалы в виде порошка, гранул, проволоки, ленты и т. п. Но при этом получаются менее чистые пленки из-за испарения материала подогревателя. Для того чтобы это загрязнение пленки свести к минимуму, необходимо выбирать металл для подогревателя так, чтобы его давление пара было пренебрежимо малым при рабочих температурах испарения, чтобы не происходило никаких химических реакций между материалом подогревателя и испаряемым металлом, а также не образовывались сплавы между ними. В качестве материалов подогревателей применяются тугоплавкие металлы: W, Та, Mo. rtosepxHOCTb резистивных испарителей предварительно очищается промывкой в растворителях. Часто проводят также отжиг испарителей в вакууме.

К установкам этого типа относится установка УВН-2М-2, упрощенная схема подколпачного устройства которой представлена на 2.34. В данном случае карусель подложек и масок имеет 8 позиций и может непрерывно вращаться со скоростью 40—150 об/мин. Это обеспечивает идентичность свойств пленки на всех подложках. На базовой плите смонтирована 5-позиционная карусель резистивных испарителей таким образом, что питание подается только на тот испаритель, который выведен на рабочую позицию.

Питание резистивных испарителей:

1) несколько стационарных резистивных испарителей с последовательным их использованием;

2) карусель сменных резистивных испарителей с последовательным их использованием;

Внутрикамерное устройство состоит из пятипозиционной карусели резистивных испарителей, электромагнитной заслонки, восьми позиционной карусели масок и подложек. Совмещение подложек с масками производится вручную до установки их на карусель. Привод, расположенный в верхней части колпака, позволяет вращать карусель со скоростью 40—150 об/мин. По мере вращения карусели подложки многократно проходят над позицией испарения, в результате на них постепенно наслаивается испаряемый материал. Нагрев осуществляется электронагревателем, расположенным над подложками.

Число резистивных испарителей, шт............. 1

Число резистивных испарителей, шт............. 1

К установкам этого типа относится установка УВН-2М-2, упрощенная схема подколпачного устройства которой представлена на 2.34. В данном случае карусель подложек и масок имеет 8 позиций и может непрерывно вращаться со скоростью 40—150 об/мин. Это обеспечивает идентичность свойств пленки на всех подложках. На базовой плите смонтирована 5-позиционная карусель резистивных испарителей таким образом, что питание подается только на тот испаритель, который выведен на рабочую позицию.

1.10. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ЦЕПИ С ОДНИМ ИСТОЧНИКОМ ЭНЕРГИИ И ПАССИВНЫМИ (РЕЗИСТИВНЫМИ) ЭЛЕМЕНТАМИ

Так как токи 10 н I определяются путем деления одного и того же напряжения U на соответствующие сопротивления, то в электрической цепи с источником тока должны быть две ветви с соединенными параллельно резистивными элементами га и г. Согласно (1.25) параллельно указанным ветвям должна быть включена третья ветвь, содержащая элемент с током 1К.

пассивными (резистивными) элементами..... 25

Резистивными элементами называ-ются идеализированные модели резисторов и любых других электротехнических устройств или их частей, оказывающих сопротивление постоянному току независимо от физической природы этого явления. Они применяются при составлении схем замещения цепей и расчетах их ре-жимов. При идеализации пренебрегают токами через изолирующие покрытия резисторов, каркасы проволочных реостатов и т. п.

Заменив источники электрической энергии (в этом примере источники ЭДС и тока) активного двухполюсника резистивными элементами с сопротивлениями, равными внутренним сопротивлениям соответствующих источников (в этом примере нулевым для источника ЭДС и бесконечно большим для источника-тока сопротивлениями), полу-

В случае когда контур, кроме ветвей с резистивными элементами и идеальными источниками э. д. с., содержит еще выделенные участки (т — п) и (k — /)c напряжениями Umnn Uk[, в правой части уравнения, составленного по второму закону Кирхгофа для такого контура, остается алгебраическая сумма э. д.с. источников, не входящих в выделенные участки [(т — п) и (k — /)], а в левую часть входят алгебраические суммы напряжений (Umn и Ukl) выделенных участков ?/в>у и падений напряжений резистивных элементов, не входящих в выделенные участки [(т — п) и (k — /)]:

4.2. МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ЦЕПИ С НЕЛИНЕЙНЫМИ РЕЗИСТИВНЫМИ ЭЛЕМЕНТАМИ

Структура уравнений математической модели. Для выявления общей структуры уравнений математической модели цепи с нелинейными резистивными элементами воспользуемся тем же

зистивными элементами возникают дополнительные источники, представленные вектором Хн. На основании принципа линейной связи токов в линейной резистивной схеме с напряжениями и токами источников, действующих в схеме, можно структуру уравнений математической модели цепи с нелинейными резистивными элементами представить в следующем виде:

Как видим, особенность уравнений математической модели цепи с нелинейными резистивными элементами, отличающая их от уравнений линейной цепи, заключается в наличии в правой части каждого из уравнений третьего члена, содержащего вектор Хн. Обратим внимание на следующее обстоятельство. В (2.11) число уравнений равно числу неизвестных, входящих в X (числу реактивных элементов с независимыми начальными условиями). Система (2.11) является полной в том смысле, что позволяет находить все неизвестные. В (4.2), записанном для нелинейной цепи, число уравнений также равно числу элементов, входящих в вектор состояния X. Число же неизвестных больше (за счет члена А3ХН) на количество нелинейных резигтивных элементов в схеме. Таким образом, это матричное уравнение не является полным. Для получения полной системы необходимо кроме (4.2) иметь дополнительную систему уравнений. Определим эту систему уравнений.

Для вывода выражений, определяющих матричные коэффициенты уравнения токов линейных резистивных элементов и уравнения состояния цепи с нелинейными резистивными элементами, требуются выкладки, аналогичные тем, которые проводились в § 2.3 при выводе выражений коэффициентов уравнений линейной цепи. Не повторяя этих выкладок, запишем развернутые уравнения токов линейных резистивных элементов и уравнения состояния в окончательном виде: