Поверхности заготовки

Поскольку эффективность работы эмиттера пропорциональна концентрации примесей в его области, а в горизонтальной структуре транзистора наиболее легированная часть эмиттера, а также минимальная ширина базы находятся вблизи поверхности, большая часть носителей, достигающая коллектора, сконцентрирована вблизи поверхности. Вследствие этого при работе в микрорежимах, когда значение поверхностной рекомбинации носителей заряда особенно велико, происходит более резкое снижение коэффициента усиления, чем в обычных вертикальных транзисторах.

Электродинамические силы направлены от индуктора к металлу в канале. Создаваемое ими давление равно нулю на внутренней поверхности канала и максимально на его наружной поверхности. Вследствие этого металл вытесняется в ванну из устья канала вдоль его наружной стенки и всасывается в канал вдоль его внутренней стенки ( 15-9). Для усиления циркуляции устьям каналов придают обтекаемую округлую форму, обеспечивающую минимальное гидравлическое сопротивление ( 15-9, а). В тех же случаях, когда необходимо ослабить циркуляцию (например, при плавке алюминия), устья делают без расширения, с большим гидравлическим сопротивлением ( 15-9, б).

Свойство термопластичности позволяет применять термическую сварку при изготовлении изделий из термопластов. Нагрев свариваемых участков от внешнего источника тепла — горячим воздухом или контактом с разогретой металлической пластиной — приводит к перегреву поверхности вследствие низкой теплопроводности термопласта. Этого недостатка лишен нагрев в электрическом поле высокой частоты.

Колебания температуры нагревателей при двухпози-ционном регулировании велики, так как масса и тепловая инерция нагревателей сравнительно малы. В других расположенных в камере печи элементах колебания температуры меньше, особенно у теплотехнически массивных тел, у которых падающий на поверхность тепловой поток, излучаемый нагревателями, интенсивно поглощается телом, что ограничивает повышение температуры поверхности. Вследствие этого теплотехнически массивная загрузка печи не испытывает значительных колебаний температуры. Однако колебания температуры загрузки значительны и вредны, если эта загрузка — теплотехнически тонкая, например тонкая лента или проволока. Так, в протяжных печах для нагрева ленты или проволоки при двухпозиционном регулировании будет наблюдаться неравномерный (полосатый) нагрев. При больших скоростях одни участки ленты пройдут через печь в период, когда ее нагреватели будут включены, другие — во время их отключения; ясно, что первые участки в результате будут нагреты больше, чем вторые.

Конструирование испарительного радиатора начинается с выбора формы каналов для прохода жидкости ( 6-33). Как видно из выражения (6-132), целесообразно развивать теплоотдающую поверхность, оставляя неизменной тепловоспринимающую. Для кольцевого зазора ( 6-33, а) это приводит к увеличению наружного диаметра трубы и толщины стенки, через которую передается тепловой поток, что, в свою очередь, приводит к повышению температуры тепловоспринимающей поверхности вследствие увеличения перепада температуры в стенке:

Этот анализ аналогичен анализу теплового баланса электрода (катода), с той разницей, что потери с боковой поверхности вследствие передачи тепла не излучением, а теплопроводностью пропорциональны не четвертой, а первой степени температуры рассматриваемого элементарного объема. При этом также учтены соображения о незначительности конвективного теплообмена в лунке. Анализ приводит также к выводу, что глубина лунки Я при данных размерах печи пропорциональна скорости плавки, т. е. току или мощности дуги. Из этого следует, что установившийся процесс кристаллизации слитка может начаться только тогда, когда лунка достигнет глубины Н, соответствующей данной мощности.

Центробежное литье — литье в быстровращающиеся металлические формы ( 2.2). Таким способом отливаются короткие (а) или длинные (б) тела вращения — трубы, втулки и другие аналогичные им изделия. Преимущества те же, что при кокильном литье, однако качество внутренней поверхности вследствие усадочных явлений хуже наружной. Из-за ненадобности стержней экономятся ресурсозатраты на их изготовление.

Последовательность обработки ИС на дополняющих МДП-приборах представлена на 1.49,6. Исходной заготовкой является пластина кремния я-типа (р= = 5 Ом-см, 7V=1015 см-3). Диффузионные карманы р-ти-па выполняют глубиной 10—:15 мкм; они имеют р = = 0,5 Ом-см и А^=1017 см~3. Последняя характеристика является оптимальной. Она обеспечивает малое изменение свойств поверхности вследствие обеднения бором при окислении и достаточно большое пробивное напряжение исток — сток. Глубина областей истока и стока (п- и р-типа) 3—4 мкм. Толщина окисла под затвором 0,2 мкм. Чтобы защитный слой окисла исключил образование паразитных каналов электропроводности под проводниками микросхемы, его толщина должна составлять не менее 1,5 мкм.

Ток утечки. Реальные p-n-переходы имеют участки, выходящие на поверхность полупроводникового кристалла. На 2.1, а ими являются краевые участки, расположенные под слоем оксида. На поверхности вследствие загрязнений и влияния поверхностного заряда (см. § 1.8) между р- и «-областями могут образовываться проводящие пленки и каналы, по которым идет ток утечки. Он увеличивается пропорционально напряжению и при достаточно большом обратном напряжении может превысить тепловой ток и ток генерации. Для тока утечки характерна слабая

Последовательность обработки ИС на дополняющих МДП-приборах представлена на 1.49,6. Исходной заготовкой является пластина кремния я-типа (р= = 5 Ом-см, 7V=1015 см-3). Диффузионные карманы р-ти-па выполняют глубиной 10—:15 мкм; они имеют р = = 0,5 Ом-см и А^=1017 см~3. Последняя характеристика является оптимальной. Она обеспечивает малое изменение свойств поверхности вследствие обеднения бором при окислении и достаточно большое пробивное напряжение исток — сток. Глубина областей истока и стока (п- и р-типа) 3—4 мкм. Толщина окисла под затвором 0,2 мкм. Чтобы защитный слой окисла исключил образование паразитных каналов электропроводности под проводниками микросхемы, его толщина должна составлять не менее 1,5 мкм.

в виде листов и в виде лент. Лента толщиной 0,2-s- 0,5 мм используется при частоте 50 гц в сильных и .средних полях, 'а толщиной 0,05н-0,15 лш при частоте 400 гц в средних полях. Выпускается лента из стали, предназначенная для слабых полей. Повышение частоты от 50 до 400-М 000 гц сопровождается изменением распределения магнитной индукции в сечении листа; центральная область сечения листа намагничивается слабее, чем слой, прилегающий к поверхности. Вследствие этого-снижается средняя магнитная индукция ( 17.8). Явление вытеснения поля в поверхностные слои листа называют магнитным поверхностным эффектом. В слабых полях

Сеткографический метод получения рисунка ПП основан на применении специальных кислотостойких быстросохнущих красок, которые после продавливания через трафарет закрепляются на поверхности заготовки в результате испарения растворителя.

при нагреве до 105 ... 120°С и плотно прикатывают к поверхности заготовки для удаления воздушных включений. Реализующие этот метод установки называются ламинаторами. Они снабжены терморегуляторами, тарированными устройствами прижима подающих валков, устройствами для обеспечения заданного зазора, давления на заготовку и обрезания фоторезиста после нанесения требуемой длины (АРС МЗ.289.006).

рами скорости конвейера и давления жидкости, системами охлаждения и терморегулирования, основными и вспомогательными насосами фильтрации жидкости и отстойниками промывных вод. После проявления оставшийся фоторезист должен быть твердым, блестящим, сплошным покрытием на поверхности заготовки с хорошей адгезией к ней, без проколов и других дефектов.

Притиркой добиваются высокой точности (погрешность не более 0,1 мкм) и низкой шероховатости (R&=0,16...0,008 мкм) обрабатываемых поверхностей. Инструмент — притир, изготовленный из более мягкого,-чем обрабатываемая заготовка, материала, шаржируется абразивным порошком или пастой. Зерна абразива, внедренные в поверхностный слой притира, удаляют мельчайшие частички материала с обрабатываемой поверхности заготовки. Притирку выполняют на универсальных и специальных станках.

В любом случае высококачественное покрытие может быть получено только при тщательной подготовке поверхности заготовки. Она должна быть гладкой и чистой, без окалины, жировых загрязнений и грубых следов предшествующей обработки. Применяются механические, химические и электрохимические способы подготовки поверхностей деталей к нанесению покрытия.

Наиболее распространенным способом получения шкал с углубленными штрихами и знаками является фотохимический способ. Он состоит из четырех этапов: 1) нанесение на поверхность заготовки светочувствительного кислотоупорного слоя; 2) нанесение на кислотоупорный слой рисунка методом фотопечати позитивного изображения шкалы с последующим растворением незасвеченных участков; 3) травление растворами кислот незащищенных участков поверхности заготовки до получения рисунка требуемой глубины; 4) отделка шкалы (удаление остатков кислотоупорного слоя, нейтрализация кислотных остатков, чистка, промывка, сушка).

Описание операций технологических процессов изготовления печатных плат. Подготовка поверхности заготовки химическим способом включает в себя следующие переходы: обезжиривание поверхности заготовки моющим средством «Прогресс», промывание в горячей и холодной проточной воде, декапирование в соляной кислоте, промывание в воде, обработка в растворе под-травливания, промывание проточной водопроводной водой, декапирование в соляной кислоте, промывание и сушка. Подготовка по-

Тепловые потери определяются температурой Т0 поверхности заготовки и тепловым сопротивлением воздушного зазора и самой теплоизоляции [24]. При Т„Т->800 °С и правильно выбранной теплоизоляции тепловое сопротивление зазора можно не учитывать. Тогда для двухслойной цилиндрической теплоизоляции с толщинами с(ф1 и с/ф3 получаем потери на 1 м длины индуктора, выраженные в ваттах:

При магнитоимпульсной обработке, металлические заготовки подвергаются пластической деформации под действием сильных магнитных полей. Если поместить заготовку в индуктор ( 9.11) и пропустить через него импульс тока большой амплитуды, то вокруг витков индуктора создается мощный импульс магнитного поля. Это поле наводит в заготовке вихревые токи, взаимодействие которых с магнитным полем создает давление на поверхность заготовки. Это давление при сильных магнитных полях может достигать нескольких тонн или даже десятков тонн на квадратный сантиметр поверхности заготовки. Поэтому если заготовка пустотелая (трубчатая), то она может быть обжата магнитным полем. Импульс тока через индуктор возникает при разряде конденсаторной батареи 3. Последняя с-аряжается от сети через выпрямитель 2 постоянным током высокого напряжения. Когда напряжение на конденсаторах достигает полного зарядного значения, разрядник 4 пробивается и накопленный в конденсаторах заряд разряжается через индуктор. Обычно разряд имеет характер быстро затухающего периодического про-цесса. но подбором параметров контура можно добиться апериоди-ческсго его протекания. Нарастание тока должно идти весьма быстро, чтобы магнитное поле не успело за время деформации проникнуть за изделие (для трубы—в ее полость), иначе изделие будет испытывать давление с двух сторон. Обычно длительность импульсов составляет 10~6—10~4 с.

Погрешность базирования вызывается погрешностями изготовления поверхностей заготовки, используемых в качестве технологических установочных и измерительных баз. Технологическими установочными базами называют те поверхности заготовки, которыми она устанавливается в приспособление, а измерительными базами — поверхности, от которых ведут

ности при электрополировании зависит как от состава электролитов и режимов обработки, так и от исходной шероховатости полируемой поверхности заготовки. Например, для получения шероховатости обработанной поверхности Ra 0,16 мкм, исходная поверхность заготовки должна иметь шероховатость не ниже Ra 2,5 мкс. Электрополирование деталей из нержавеющих сталей, сплавов на основе никеля и молибдена проводят в электролите следующего состава: 50—60 % фосфорной кислоты; 20—30% серной кислоты; 20 % воды. Режим обработки: напряжение на электродах 10—40 В, плотность тока (1—3)-106 А/м2, температура 333—353 К. Время полирования 0,5—5 мин. Электрополирование деталей из титана, хрома, ниобия и их сплавов проводят в электролите следующего состава: 83—85 % этилен-гликоля, 3—4 % плавиковой кислоты, 5— 6 % фтористого аммония, 5—6 % азотного аммония, вода — остальное. Режим полирования: напряжение 20—50 В, плотность тока (0,5—1,5)-10е А/м2, температура 333—363 К. Время полирования 1—3 мин.