Получение монокристаллов

Кроме того, при уменьшении числа передач до а = 1 или с = 2 затрудняется получение максимального момента на

Сопоставим формулу (2.44) с выражением (2.27). Можно заключить, что согласованный фильтр определен из условий, которыми характеризовалась функция правдоподобия. Эти условия обеспечивают получение максимального количества информации о переданном сигнале из принятого колебания.

•рование экспериментов не может, естественно, служить объективным и надежным (гарантирующим от принятия ошибочных решений) основанием при планировании экспериментов (особенно дорогостоящих), не может оно также, гарантировать и оптимальность эксперимента (например, получение максимального количества информации об исследуемом объекте при ограниченных затратах). В связи с этим• становится совершенно очевидной необходимость разработки и применения некоторых объективных методов, которые позволяли бы в определенном смысле оптимальным образом организовывать (планировать) эксперимент. Применение подобных методов может оказаться весьма полезным и в измерительной информационной технике, особенно при создании и использовании ИИС.

Это подтверждается рис, 7.8, а, из которого видно, что при данной величине Ей и амплитуде входного сигнала (для примера — синусоидального) увеличение сопротивления Кя от Ra\ вызывает рост амплитуды выходного напряжения при почти неизменной амплитуде анодного тока. Однако при превышении значения Кя = Каз возникают значительные искажения формы кривых выходного напряжения и тока (например, при R^). Поэтому положение линии нагрузки, соответствующее Ra^Ras, является оптимальным, так как обеспечивает получение максимального выходного напряжения почти максимальной амплитуды анодного тока и, следовательно, максимальной выходной мощности (в данных условиях) при минимальных нелинейных искажениях.

В отличие от процесса выплавки слитков задачей плавки в гарниссаже является получение максимального для данных условий количества жидкого металла при некоторой заданной средней температуре.

Измерительные системы применяются для исследования объектов, априорной информации о которых недостаточно для алгоритмического описания их поведения. Поэтому измерительные системы должны обеспечивать получение максимального количества достоверной измерительной информации об объекте.

Выявить влияние параметров главной и вспомогательной фаз на пусковые момент и ток и оценить добротность пуска д = МК/1К позволяет построение круговой диаграммы пускового тока. С ее помощью можно решить следующие задачи при оптимизации вспомогательной фазы в зависимости от поставленных требований: 1) получение максимального пускового момента Мк макс; 2) получение заданной кратности пускового момента ku; 3) получение максимальной добротности д.макс! 4) получение заданной кратности пускового тока kt.

Для повышения к. п. д. нагрузочное сопротивление RH можно уменьшать лишь до определенного предела. Действительно, формулы (4.17) справедливы при #„ >> р. При произвольных же значениях RH возможно получение максимального к. п. д. согласно формулам (3.156), где необходимо соответственно изменить

При подстановке в (3.27) значений Хв и ^В) соответствующих скольжению s=l (ХВП и Rsn), можно определить суммарную емкость Со = Ср + Сп, которая обеспечивает при пуске форму магнитного поля, наиболее близкую к круговому. Емкость конденсатора См, обеспечивающую получение максимального пускового момента МП, определяют по (3.16).

• оптимизация параметров отдельных элементов устройств по заранее выбранному критерию (например, получение максимального усиления при изменении напряжения питания или сопротивления нагрузки);

о выборе оптимального значения Ед, имеющее целью получение максимального КПД СЭ, зависит от способа определения .Ешах.

•§ 6. Получение монокристаллов с совершенной структурой . . . 173

Метод горизонтальной направленной кристаллизации, так же как и другие контейнерные методы выращивания монокристаллов, обеспечивает получение монокристаллов с малым разбросом размеров поперечного сечения. Решение этой важной для технологии полупроводниковых материалов задачи в методах Чохральского и бестигельной зонной плавки, в которых диаметр растущего монокристалла определяется скоростными и тепловыми режимами процесса, требует намного больших усилий.

Методы выращивания однородно легированных по длине монокристаллов полупроводников с использованием подпитки кристаллизуемого расплава обеспечивают получение монокристаллов с совершенной структурой. Они могут служить основой непрерывных процессов получения монокристаллов полупроводников, обладающих высокой производительностью и стабильностью параметров продукции. Однако эти процессы требуют для своей реализации специали-

§ 6. Получение монокристаллов с совершенной структурой

3) получение Монокристаллов и их термическая обработка;

Дислокации в той или иной степени содержат скопления добавочной энергии, так как межатомные расстояния в их области не соответствуют минимальной энергии. Из этого следует, что дислокации являются термодинамически неравновесными дефектами и поэтому возможно получение монокристаллов без дислокаций. Дислокации обязательно выходят на поверхность кристалла либо замыкаются на себя, образуя дислокационные петли.

На характере конвективных потоков в расплаве весьма сказывается геометрия полости подставки, в соответствии с которой приобретает форму тигель, а также толщина стенок и дна подставки. Хорошие результаты получают при использовании подставок со сферическим дном ( 125). Они обеспечивают постоянное отношение поверхности расплава к его высоте, равномерное перемешивание расплава по всему объему конвективными потоками и, как следствие, меньшие осевые градиенты температуры в расплаве. Недостатком подставки сферической формы является постоянное уменьшение диаметра расплава по мере выращивания кристалла заданного диаметра, что приводит к необходимости уменьшать скорость выращивания к концу процесса. В ряде случаев она уменьшается в 3,5-4 раза по сравнению с начальной. Уменьшение скорости по мере выращивания кристалла связано с необходимостью предотвращения парази№ой кристаллизации от стенок тигля. Кроме того, при сферической форме тигля получение монокристаллов постоянного диаметра даже при использовании системы автоматического поддержания диаметра практически невозможно из-за отсутствия жесткой фиксации уровня расплава.

Индуктор - основной технологический элемент при индукционной бестигельной зонной плавке. Он состоит из индуктирующего провода в виде кольца, токоподводящих шин и колодок для подсоединения индуКтора к токоподводу. Важно обеспечить минимальное электрическое сопротивление индуктора. В первых установках бестигельной зонной плавки индукторы изготавливали из серебра, поэтому получение монокристаллов являлось дорогостоящим процессом. Впоследствии при изготовлении индукторов стали применять медь. Для охлаждения индуктора используют дистиллированную или ионоочищенную воду (для исключения выпадания солей). Расход охлаждающей воды определяют по формуле [232], м3/с:

мальная скорость охлаждения гохл, обеспечивающие получение монокристаллов без свнрл-дефектов

При производстве бездислокационных монокристаллов заданной марки с помощью измерительных приборов (например, оптических пирометров) определяют температурный градиент в выращиваемом монокристалле и по графику (см. 150) вычисляют необходимую скорость выращивания. Это обеспечивает получение монокристаллов без свирл-дефектов. Вырастить бездислокационные монокристаллы без микродефектов D-типа в промышленных условиях пока не удается. По-видимому, этого можно будет добиться, уменьшив содержание углерода и кислорода в монокристаллах [72}.

Направленная кристаллизация, получение монокристаллов 252, 253