Промышленного изготовления

В настоящее время известен и ряд других способов металлизации поверхности оснований печатных плат путем разложения неорганических и органических соединений металлов различными видами энергии — химической, тепловой, фотохимической, электрической. Применение этих способов для изготовления печатных плат носит пока экспериментальный характер, но перспективы их промышленного использования многообещающи.

Однако в последующие годы неудачные попытки извлечь ядерную энергию вызвали разочарование у многих исследователей. Резерфорд даже назвал идею промышленного использования ядерной энергии «чепухой».

Италия была первой страной, вставшей на путь промышленного использования тепла земных недр. Этому способствовал недостаток обычных энергоресурсов. Схема использования подземного тепла относительно проста. Разогретые подземные воды превращаются в пар, который используется на геотермальных электростанциях и в других технических установках. Пар, получаемый в недрах Земли, в отличие от пара, получаемого в парогенераторах ТЭС, содержит примеси различных агрессивных газов, которые разрушают оборудование

Индуктор является основным элементом всякой установки для индукционного нагрева. В большинстве случаев достоинства и недостатки технологических устройств, в которых используется индукционный нагрев, могут быть поставлены в прямую связь с особенностями конструкции индуктора, который выбран для осуществления заданной технологической операции (закалки, сварки и др.). Поэтому каждый специалист, работающий в области промышленного использования индукционного нагрева, должен достаточно хорошо разбираться в основных принципах расчета и конструирования индукторов. Эти принципы не являются универсальным средством, позволяющим во всех случаях практики разработать оптимальный индуктор. Только практическая работа по конструированию индукторов и наладке нагревательных установок поможет

Проводимые в СССР с 1958 г. исследования индукционного плавления, металлов в холодных тиглях [IV.6, IV.11] показали, что этот процесс дает прекрасные результаты по качеству металла, однако является нерентабельным для промышленного использования, так как общий к. п. д. его не превышает 10—15%. Это объясняется, во-первых, низким удельным электросопротивлением расплава (10~3—10~4 ом-см) и краткостью пути индуцированного тока в расплаве ( IV. 1, а); во-вторых, наличием хорошего теплового контакта между садкой и стенкой холодного тигля, что является причиной больших тепловых потерь.

Введение в исследовательскую практику последнего времени крупных экспериментальных установок сделало возможным развертывание работ по овладению новым источником энергии — термоядерными реакциями синтеза изотопов водорода (дейтерия, трития) и других легких элементов, эффективно протекающими при сверхвысоких температурах. Составив одну из крупнейших проблем современной ядерной физики, они впервые были искусственно воспроизведены в водородных бомбах как неуправляемые взрывные реакции, протекающие в миллионные доли секунды. Между тем для промышленного использования этого энергетического источника, по существу неисчерпаемого, так как практически неисчерпаемы запасы природных легких элементов (например, в морской воде), необходимо осуществление управляемых термоядерных реакций. На решении задач, связанных с овладением такими реакциями,— нагреве взаимодействующих веществ плазмы по крайней мере до

Реальные возможности промышленного использования энергии Солнца многие ученые видят в разработке технологий, которые бы копировали фотосинтез, т. е. процесс, происходящий в растениях, в ходе которого углекислый газ под действием света превращается в органические соединения.

Более 20 лет назад в ЭНИНе им. Кржижановского была выдвинута идея создания солнечной электростанции так называемого башенного типа, согласно которой расположенные на земле плоские зеркала — гелиостаты фокусируют отраженные лучи на приемнике энергии (паровом котле, установленном на башне). В настоящее время такое схемное решение принято за основу в разрабатываемых в США экспериментальных проектах солнечных станций, основанных на термодинамическом методе преобразования. Реальные возможности промышленного использования энергии солнца многие ученые видят в разработке технологий,

Общие запасы первичной энергии в ПНР, пригодные для промышленного использования, в начале 70-х годов оценивались в 35 млрд. т у. т. Это означает, что страна на многие десятилетия обеспечена разведанными первичными источниками энергии.

Британская угольная промышленность придерживается весьма реалистического подхода к своим угольным резервам. В 1905 г. считалось, что в наличии имеется 144 млрд. т для промышленного использования (не было установлено никаких временных ограничений). В период второй мировой войны объем резервов, которые будут извлечены в ближайшие 100 лет, оценивался в 20,8 млрд. т. Специальный учет, проведенный в конце 50-х — начале 60-х годов, в качестве резервов для работы существующих уже шахт назвал 16 млрд. т. В то время предполагали, что средства на открытие новых шахт не понадобятся, поскольку уголь не мог конкурировать со все дешевеющим жидким топливом. В 1973 г. промышленные резервы угля оценивались в 3,9 млрд. т. Таким образом, величина эффективных резервов угля уменьшалась в среднем примерно на 2 млрд. т в год, которые в зависимости от потребностей и цен, а также при создании новых технологий в будущем могли вновь возбудить инте С ростом цен на нефть после 1974 г. возросшая конкурентоспособность угля позволила усовершенствовать технологии, а понимание того обстоятельства, что величина 3,9 млрд. т явно занижена и не отражает национального богатства Великобритании, заставило Национальное угольное управление пересмотреть эту цифру и оценить эффективные извлекаемые угольные резервы в 45 млрд. т, согласно отчету МИРЭК 1978 г. [89]. Это количество угля многие политические деятели и специалисты из Национального угольного управления считают «достаточным для покрытия спроса на 300 лет вперед». Эта фраза ведет к излишнему благодушию, поскольку она не отражает ту простую истину, что уголь имеет стоимость, лишь когда он добыт. Пересмотр оценок 1978 г. укрепил позиции также и Западной Европы в энергетическом отношении.

Геотермальная энергия. Самым ранним примером промышленного использования геотермальной энергии в сколько-нибудь значительном масштабе является использование геотермальных вод в Лардарелло, в 100 км от г. Флоренция (Италия). Вначале в 1827 г. геотермальные воды использовали для получения борной кислоты, затем в 1904 г.— для производства химикатов и электроэнергии и лишь начиная с 1964 г.— для выработки только электроэнергии. Приведенное ниже описание действующих установок по использованию геотермальных вод поможет проиллюстрировать ряд важных моментов в этой области.

Решение этой задачи в настоящее время осуществляется путем развития новых принципов проектирования и промышленного изготовления электронной аппаратуры, разработки новой элементной базы, основанной на принципах микроэлектроники.

Многолетний опыт промышленного изготовления ИМС показывает, что 85 % брака (отказов) из общего числа бракованных ИМС и БИС обусловлены случайными дефектами, а 15 % —грубыми дефектами, связанными с ошибками производства. Поэтому Теоретическую основу прогнозирования процента выхода годных ИМС составляют статистические модели возникающих в процессе производства ИМС случайных отказов и характер распределения дефектов, обусловливающих отказы ИМС по функционированию.

Комплектные конденсаторные установки. Широкое применение статических конденсаторов, используемых для повышения коэффициента мощности и регулирования напряжения в системе электроснабжения, потребовало организации промышленного изготовления ККУ с последующим монтажом их на отдельных участках сетей напряжением 0,38 и 6—10 кВ. В ККУ применяют конденсаторы из бумаги, пропитанной минеральным маслом, со-волом или другим жидким диэлектриком. Эти конденсаторы различаются по напряжению, числу фаз, роду установки и роду пропитки.

том регулировании реостата указывается также минимальное сопротивление. Для реостатов промышленного изготовления допустимый длительный ток составляет не более 15 А. Данные реостатов приводятся в [1]. Специальные нагрузочные реостаты допускают ток до 80 А при напряжении 220 В. Для регулирования напряжения реостат включается по схеме потенциометра ( 3.20) и выбирается по условиям плавности регулирования напряжения и допустимому длительному току. Для того чтобы удовлет-7*

При силе тока 6—8 кА и более выполнение шинных конструкций становится крайне трудным, поэтому применяются почти исключительно КЭТ с обособленными фазами. При этом на станции сокращается объем и время монтажных работ, сводящихся к сборке комплектных конструкций промышленного изготовления; повышается безопасность эксплуатации.

ГЛАВА 3. Оборудование для промышленного изготовления тонкопленочных интегральных микросхем............... 70

ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПРОМЫШЛЕННОГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

Установка УВН-62П-1 предназначена для промышленного изготовления элементов тонкопленочных микросхем на основе пленок тантала. Установка разработана на основе базовой модели УВН-2М. Внутрикамерное устройство ( 44) имеет тран-спортно-бункерный конвейер, позволяющий одновременно загружать до 200 ситалловых или полупроводниковых подложек. Механизмы перемещения 6 и подъема подложек 5 заземлены и являются анодом. На расстоянии 40—60 мм под анодом расположен плоский танталовый водоохлаждаемый катод 4, на который подается отрицательное напряжение до 5 кВ (высоковольтные вводы //). На базовой плите установлены два вентиля-натекателя с электромагнитным управлением, с помощью которых в рабочую камеру впускают газ (обычно аргон) и поддерживают определенное давление.

В последнее время все более широкое применение для изготовления фотошаблонов без выполнения оригиналов находят микрофотонаборные установки. Первая из семейства отечественных микрофотонаборных установок — установка ЭМ-508, которая предназначена для быстрого и дешевого изготовления прецизионных фотошаблонов, применяемых в производстве ИМС. В установке использован принцип фотонабора, по которому нужную топологию фотошаблонов набирают из некоторого количества стандартных прямоугольных элементов, последовательно экспонируемых в нужных местах фотопластины. Оригинальное конструктивное решение ряда узлов позволило реализовать этот принцип в установке для промышленного изготовления прецизионных фотошаблонов. В от-личии от фотонаборных установок зарубежных фирм в этой уста-новке используются датчики перемещения на отражательных дифракционных решетках. Использование дифракционных ре-

В табл. 3.11 приведены наиболее важные способы из числа описанных ранее, а также их наиболее существенные параметры и свойства. Эти параметры являются средними для датчиков, имеющихся в продаже, или с большой вероятностью реальными для датчиков индивидуального промышленного изготовления по отдельному заказу, а также для датчиков, изготсрлеккых самим псльЕОнате/.ем

Поэтому схема литания с фиксированным смещением по току базы, как не обеспечивающая .достаточной стабильности .режима работы, в .аппаратуре промышленного изготовления почти не встречается.