Производстве трансформаторов

На одной подложке обычно содержится до 300 и более пленочных элементов, и таких подложек одновременно поступает на измерительные операции несколько десятков, поэтому измерения в производстве тонкопленочных микросхем носят массовый характер. В связи с этим важное значение приобретает автоматизация измерений.

Для автоматизации измерений и снижения их трудоемкости в производстве тонкопленочных ИМС начали применять различные конструкции многозондовых приспособлений.

Технология тонкопленочных ИС позволяет изготавливать пассивные элементы с более узкими допусками номиналов по сравнению с другими видами технологий. При производстве тонкопленочных ИС используется дорогостоящее оборудование, позволяющее путем локального напыления резистивных, проводящих или диэлектрических материалов создавать элементы и межсоединения. По сравнению с толстопленочными ИС элементы в них размещены более плотно.

10-7. Технологические процессы фотолитографии в производстве тонкопленочных интегральных микросхем

Одним из основных вопросов в решении проблемы точности и стабильности качества производства тонкопленочных элементов ИМС является изучение законов распределения производственных погрешностей их параметров. Рассмотрим конкретный пример исследования их в производстве тонкопленочных резисторов.

• 10-7. Технологические процессы фотолитографии в производстве тонкопленочных интегральных микросхем . 194 10-8. Элионная технология в фотолитографических процессах ..............203

ки (200 — 1000 ,мг) и трудности очистки от напыленной пленки не распространены в производстве тонкопленочных микросхем.

Воспроизводимость свойств тонкопленочных элементов зависит от многих технологических параметров процесса напыления: давления, состава остаточных газов в рабочей камере, температуры подложки, скорости нанесения пленки и т. п. Кроме того, электрические параметры тонкопленочных элементов, при прочих равных условиях, зависят от толщины пленочных слоев. Поэтому-для получения лучшей воспроизводимости свойств микросхем при нанесении тонкопленочных слоев обычно контролируют следующие параметры: остаточное давление в рабочей камере, температуру подложки, толщину и скорость напыления. Если первые два параметра можно измерять с необходимой степенью точности хорошо известными методами и приборами, то измерение толщины и скорости нанесения пленки связано с целым рядом трудностей. Это объясняется тем, что в производстве тонкопленочных микросхем используют различные методы нанесения пленок; применяют большое количество разнообразных по своему химическому составу испаряемых материалов. При этом необходим широкий диапазон значений толщин пленок и скорости их напыления, что в свою очередь вызывает применение методов измерения, основанных на различных физических принципах. Это предъявляет ряд специфических требований к приборам для измерения параметров технологического процесса распыления:

ки (200 — 1000 ,мг) и трудности очистки от напыленной пленки не распространены в производстве тонкопленочных микросхем.

Технология тонкопленочных ИС позволяет изготавливать пассивные элементы с более узкими допусками номиналов по сравнению с другими видами технологий. При производстве тонкопленочных ИС используется дорогостоящее оборудование, позволяющее путем локального напыления рсзистивных, проводящих или диэлектрических материалов создавать элементы и межсоединения. По сравнению с толстопленочными ИС элементы в них размещены более плотно.

Из всех свойств аморфных полупроводников с тетраэдрической координацией связей наиболее примечательными являются их высокие фотопроводимость, коэффициент поглощения видимого света, а также возможность получения тонких пленок большой площади, — все это обусловливает возможность создания дешевых генераторов фото-э.д.с, работающих на солнечной энергии. Ожидается, что новые аморфные материалы найдут также широкое применение в производстве тонкопленочных интегральных электронных приборов: транзисторов, светочувствительных экранов и электрофотографических устройств.

Обмоточные провода. При производстве трансформаторов радиотехнической аппаратуры применяют медный изолированный провод. Изоляция провода должна обладать следующими свойствами: малой толщиной, большим пробивным напряжением, механической прочностью, хорошим сцеплением с металлом провода, гибкостью, малым изменением электроизоляционных свойств при длительном воздействии повышенной температуры, нерастворимостью в лаках и составах, применяемых для пропитки трансформаторов.

Холоднокатаная текстурованная сталь применяется, главным образом, при производстве трансформаторов.

1-1. СОВРЕМЕННЫЕ ТЕНДЕНЦИИ В ПРОИЗВОДСТВЕ ТРАНСФОРМАТОРОВ В СССР

Одной из задач стандартизации в трансформаторо-строении является установление единых требований к трансформаторам, отражающих потребности эксплуатации и условия работы силовых трансформаторов в сетях, с одной стороны, и современное состояние и возможности трансформаторостроения, с другой. Фиксируя определенное состояние трансформаторостроения, стандарт в то же время ставит новые требования, стимулирующие дальнейший прогресс в производстве трансформаторов. Периодический пересмотр стандартов и повышение заложенных в них требований позволяют систематически совершенствовать существующие серии трансформаторов — улучшать их энергетические показатели, повы-

пуска трансформаторов существующих серий с учетом применения новых улучшенных материалов, использования результатов новых исследований в области транс-форматоростроения,.применения новых конструкций магнитных систем, новых и улучшенных конструкций обмоток и их изоляции, новых систем охлаждения и новых прогрессивных технологических процессов в производстве трансформаторов. Все выбираемые и заданные величины составляют при этом исходные данные расчета трансформатора.

1-1. Современные тенденции в производстве трансформаторов в СССР................. 6

В зависимости от того, как осуществляется соединение между обмотками — началами или концами их — ив какой последовательности, теоретически можно получить большое число разных схем или групп соединений обмоток трехфазных трансформаторов и векторных диаграмм их напряжений. Однако такое произвольное и разнообразное образование схем обмоток трансформаторов существенно осложнило бы использование трехфазных трансформаторов в эксплуатации. Поэтому в целях унификации производства и удобства применения этих трансформаторов на практике ГОСТом ограничено число возможных групп соединения обмоток трехфазных трансформаторов. По ГОСТ 11677— 65 установлены только две основные группы, обязательные для реализации при производстве трансформаторов. Эти группы представлены в табл. 17.1. Для условного обозначения групп соединения обмоток трехфазных трансформаторов приняты следующие знаки в зависимости от углового смещения векторов э. д. с. первичной и вторичной обмоток одной и той же фазы. Так, например, первая группа одинакового соединения обмоток трансформатора по схеме звезда — звезда обозначается условным знаком Y/Y — 0 (см. табл. 17.1). Это означает, что векторы линейных э. д. с. первичной и вторичной обмоток совпадают по фазе. Вторая группа смешанного соединения обмоток по схеме звезда—

1.1. СОВРЕМЕННЫЕ ТЕНДЕНЦИИ В ПРОИЗВОДСТВЕ ТРАНСФОРМАТОРОВ В СССР

Одной из задач стандартизации в трансформаторостро-ении является установление единых требований к трансформаторам, отражающих потребности эксплуатации и условия работы силовых трансформаторов в сетях, с одной стороны, и современное состояние и возможности транс-форматоростроения — с другой. Фиксируя определенное состояние трансформаторостроения, стандарт в то же время ставит новые требования, стимулирующие дальнейший прогресс в производстве трансформаторов. Периодический пересмотр стандартов и повышение заложенных в них требований позволяют систематически совершенствовать существующие серии трансформаторов — улучшать их энергетические показатели, повышать надежность, уменьшать массу и габариты и создавать новые типы трансформаторов.

строения, применения новых конструкций магнитных систем, новых и улучшенных конструкций обмоток и их изоляции, новых систем охлаждения и новых прогрессивных технологических процессов в производстве трансформаторов. Все выбираемые и заданные величины составляют при этом исходные данные расчета трансформатора.

1.1. Современные тенденции в производстве трансформаторов в СССР............ 6