Производства искусственного

48. Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем. — М.: Энергия 1977. —376 с.

79. Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем. М., 1977.

В современных системах в качестве переключающих элементов используются электронные устройства, время переключения которых несоизмеримо мало по сравнению с длительностью единичного элемента. Поэтому необходимость в средней частоте отпала. Кроме того, развитие радиотехнической промышленности позволило резко сократить стоимость транзисторов. Это отразилось и на схемах модуляторов: менее надежные диоды в ключевых схемах были заменены транзисторами (сравните схемы 3.1 и 3.2). Развитие микроэлектроники позволило создать миниатюрные и долговечные схемы, в которых все элементы соединены друг с другом, заключены в общий корпус и представляют собой единое • устройство. Это является основным признаком интегральной схемы. Особенности -технологии производства интегральных схем во многом определили и их электрические схемы. Так, изготовление

Достигнутые на сегодня результаты комплексной миниатюризации МЭА обусловлены прежде всего достижениями в проектировании и технологии производства интегральных микросхем. Внедрение в производство полупроводниковых ИМС идей и методов субмикронной технологии (электронно-, рентгено- и ионно-лучевая литография, ионное легирование, сухие процессы травления, технология бездефектного кристалла, эпитаксия из ионных пучков), позволяющих воспроизводимо получать минимальные размеры областей полупроводниковых структур на уровне долей микрометра, даст возможность достигнуть степени интеграции 10В—107 элементов на кристалл. Это означает, что в одном полупроводниковом кристалле можно разместить достаточно сложное микроэлектронное устройство ( 2.1), функционально законченное, пригодное к автономной эксплуатации, например однокристальную ЭВМ.

Испарение в вакууме нагретых и бомбардируемых электронами металлических деталей электронных ламп и осаждение их в виде тонких пленок на внутренних стенках стеклянных баллонов наблюдалось при производстве и эксплуатации электронных ламп. Требовалось обратить эти нежелательные в лампах явления в полезную технологию. К моменту появления тонкопленочной технологии в науке экспериментально были изучены зависимости упругости паров от температуры для всех металлов и большинства окислов. Тонкопленочная технология производства интегральных микросхем включает в себя операции напыления в вакууме на гладкую поверхность диэлектрической подложки пленок различных материалов (проводящих, диэлектрических, резистивных) и формирования конфигураций элементов тонкопленочных схем. При напылении проводников, обкладок конденсаторов, резисторов, диэлектриков конденсаторов через маски эти операции совмещены. Можно напылить резистивную и проводящую пленки по всей поверхности подложки, после чего стравить обе пленки с участков, не подлежащих металлизации, формируя проводящие до-

Технология производства интегральных схем создает условия для внедрения метода группового производства, большие преимущества которого заключаются в одновременном изготовлении большого числа микросхем. Метод группового производства открывает широкие возможности по созданию больших интегральных схем (БИС), когда одна такая схема может выполнять функции целого устройства. Это является одним из достоинств

6. Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем.—М.: Энергия, 1977.

-6. Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем.—М.: Энергия, 1977.— 374с.

52. Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем М.: Энергия, 1977. — 376 с.

ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

4-49 Технология производства интегральных микросхем. Учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Конструирование и производство радиоаппаратуры» и «Конструирование и производство электронно-вычислительной аппаратуры». Под ред. А. А. Васенкова. М., «Энергия», 1977.

Энергетический комплекс является крупным потребителем энергии. Уже сейчас примерно 16% производимой им конечной продукции (в пересчете на первичные энергоресурсы) не выходит за его пределы. Энергоемкость ЭК имеет четкую тенденцию к росту, которая может усилиться с развитием производства искусственного жидкого топлива из угля.

также внимание, с одной стороны, к энергосберегающей политике, а с другой, к научно-исследовательским разработкам в области получения нефти из нетрадиционных источников — битуминозных песков (в основном, в Канаде) и нефтеносных сланцев, а также производства искусственного жидкого топлива из угля (подробнее см. главу 6).

Несомненно, что развитие нефтеснабжающей системы Западной Европы будет и в перспективе в определяющей мере зависеть от импортных поставок нефти, хотя их доля в суммарном потреблении жидкого топлива в регионе может несколько снизиться с учетом разработки месторождений в Северном море, а в последующем и производства искусственного жидкого-топлива (подробнее см.главу 6).

1. Сохранится единая нефтеснабжающая система развитых капиталистических стран. Это окажется возможным, если США предпочтут и в будущем существенную зависимость от импорта нефти форсированию разработки собственных традиционных и нетрадиционных ресурсов нефти и широкому развитию промышленного производства искусственного жидкого топлива из угля. При этом может сыграть роль стремление правительства США, в частности в связи с милитаризацией внешнеполитического курса, к созданию и поддержанию на высоком уровне стратегических резервов нефти как путем ее специально создаваемых запасов, так и в виде законсервированных скважин, месторождений и нефтеносных территорий. Кроме того, следует учитывать, что нефтяные монополии неохотно идут на вложение капиталов в производство искусственного жидкого топлива из угля, где инвестиции сопряжены со значительным риском из-за неясности технологии и ситуации с перспективными ценами на нефть. Важно также, что широкомасштабное производство неф-

В связи со сказанным углеснабжающая система Северной Америки получит дальнейшее и при этом активное развитие, определяемое ростом значения угля в энергетическом балансе не только как топлива для электростанций и крупных промышленных потребителей, но и как сырья для производства искусственных темных и светлых нефтепродуктов. В то же время необходимо учитывать реальные трудности, с которыми связано быстрое развитие угольной промышленности: необходимость значительных инвестиций, сложности привлечения рабочей силы, особенно при шахтной добыче, экологические ограничения и ряд других. В целом североамериканская углеснабжающая система, очевидно, сохранит свой региональный характер, однако возможен вариант некоторого расширения ее внешних (экспортно-импортных) связей с региональными углеснабжающими системами Западной Европы и Японии, если для этих стран окажется экономически целесообразным импортировать американский уголь, в том числе как сырье для производства искусственного жидкого топлива.

а) возрастет роль угля в энергетическом балансе как основного вида топлива для тепловых электростанций, а также как сырья для производства искусственного жидкого топлива;

При построении энергетического баланса на отдаленную перспективу 40— 50 лет трудно определить объем производства искусственного жидкого топлива и связанный с этим дополнительный расход энергетических ресурсов. Поэтому в табл. 6-3 и в последующих таблицах применен следующий услов-

возрастание роли угля в энергетическом балансе в ближайшие десятилетия (в основном в связи с активизацией использования твердого топлива на электростанциях) приведет к развитию международного обмена углем, в том числе в целях использования относительно дешевых импортных углей для производства искусственного жидкого топлива;

Альтернативой росту импорта нефти в США (достигшему в конце 70-х гг. почти 30% ее потребления) может служить как активизация разработки собственных традиционных месторождений нефти, так и особенно развитие производства искусственного жидкого топлива из нефтеносных сланцев и угля, запасы которого, в том числе добываемого открытым способом, в стране велики.

мых открытым способом (издержки добычи в конце 70-х гг. — 10— 12 долл./т), может составить около 250 долл./т (в ценах 1978 г.), т. е. окажется конкурентоспособной с ценами натурального бензина, вырабатываемого в США из импортной нефти. Хотя эти оценки и носят самый предварительный характер,, можно все же считать, что в США уже в ближайшие 10—15 лет возникнет реальная возможность достаточно масштабного производства искусственного моторного и бытового жидкого топлива из сланцев и частично угля (естественно при условии успешного решения сложных экологических проблем). В сочетании с другими мероприятиями по развитию собственной ресурсной базы это может, очевидно, снизить рост зависимости США от импорта нефти.

ходимость активного вовлечения в энергетический баланс ядерного горючего, причем используемого не только для производства электроэнергии (хотя этим и будет повышен уровень электрификации конечного потребления энергии), но и для обеспечения централизованного теплоснабжения от атомных электростанций и специальных укрупненных теплоснабжающих установок. Нужды транспорта и развитие малоэтажной застройки, так же как и в США, потребуют достаточно широкого использования жидкого топлива, в том числе искусственного, однако последнее из-за высокой стоимости местных углей будет применяться в меньших масштабах, чем в США. Стремление к сокращению зависимости от импорта нефти приведет, видимо, к необходимости сохранения почти на современном уровне доли газа в суммарном расходе энергетических ресурсов (табл. 6-6), причем в основном путем расширения его импортных поставок. По той же причине можно ожидать роста потребления угля, в том числе и как сырья для производства искусственного жидкого топлива. Использование возобновляемых источников энергии, например солнечной, в силу климатических особенностей Западной Европы будет, очевидно, иметь меньшее значение, чем для США.