Проведения измерений

После цикла в строке 1660 предусмотрен вызов подпрограммы-сообщения, предоставляющего исследователю возможность выбора одного из двух путей проведения исследования: вывод графиков или таблицы результатов. В этой же строке предусмотрен выход из совмещения графической и текстовой страниц, что необходимо для последующего вывода на экран графиков или таблиц. Строка 1670 обеспечивает переход к выполнению той части программы, которая соответствует введенному исследователем номеру режима.

Под общей моделью* процессов (см. 3.1) понимается какое-либо, часто словесное или подкрепленное количественными соотношениями, описание процессов, отобранных для изучения. Далее на основе этой общей модели составляется математическое описание или, если это почему-либо затруднительно или даже невозможно, применяется экспериментальное изучение, использующее методы планирования опытов или анализа размерности. Общая модель позволяет создать конкретные модели: физические, аналоговые или математические (3-й уровень допущений). Математическая модель представляется системой дифференциальных уравнений, обычно упрощенных по сравнению с теми, которые входили или должны были бы входить в общую модель. Математическая модель содержит алгоритмы и программы для решения, а также набор начальных и граничных условий. На основе ее получается решение в квадратурах или численное решение на ЦВМ либо воспроизводится протекание процесса, отвечающего этой модели на АВМ. При этом любая организация самой процедуры изучения сопровождается допущениями. Так, при численном решении ускорение может приниматься постоянным на протяжении расчетного интервала, распределенный параметр — сосредоточенным, вращающий момент — численно равным мощности и т. д. Все эти допущения относятся к 3-му уровню; они могут быть различными в зависимости от конкретных условий проведения исследования, например от того, реализуется ли решение уравнений непосредственно (в квадратурах), составляется ли программа для решения на ЦВМ или АВМ либо изучается на физической модели. Далее при любом исследовании необходима проверка полученных результатов, предусматривающая апробацию их с помощью опытов (в натуре или на физических моделях, в свою очередь корректируемых натурными экспериментами).

Рассмотренные выше методы исследования износостойкости имеют ряд недостатков, основными из которых следует считать большую длительность проведения исследования, а следовательно, и большую величину затрат на их проведение (заработная плата исследователей и большая стоимость изнашиваемых, обрабатываемых и обрабатывающих материалов).

Распределение продуктов износа в процессе резания. Прежде чем принять ту или иную методику проведения исследования с использованием радиоактивных изотопов, необходимо установить, как распределяются продукты износа, какие элементы резца в какой мере претерпевают износ.

Установление наиболее правильных показателей распределения продуктов износа по каналам отвода должно способствовать более обоснованному выбору методики проведения исследования с использованием «меченых» атомов.

На фиг. 19 показан общий вид приспособления для проведения исследования по определению каналов отвода продуктов износа при резании без охлаждающей жидкости.

Несмотря на большую наглядость фоторадиограмм [33], показывающих, в частности, большую дискретность распределения продуктов износа, сам процесс проведения исследования весьма длителен, так как время экспозиции равнялось 92 дням.

На фиг. 33 представлена общая схема проведения исследования с использованием радиоактивных изотопов. Радиоактивные частицы, попадающие в охлаждающую жидкость по лотку 5, сливаются в приемник жидкости 6, в котором производится измерение активности.

Фиг. 38. Общий вид цеховой установки для проведения исследования износа' по уменьшению активности источника.

Радиоактивные изотопы для проведения исследования могут быть использованы на

Фиг. 45. Схема проведения исследования износа на одноцилиндровой

За счет приложения больших напряжений к затвору или за счет внутренних зарядов в диэлектрике может произойти пробой изолирующей пленки диэлектрика и транзистор выйдет из строя. Поэтому нельзя ни использовать, ни хранить МДП-транзисто-ры с оборванным затвором. МДП-транзисторы хранятся со специальными закорачивающими приспособлениями (все выводы транзистора замкнуты между собой). При измерении параметров МДП-транзисторов съемное закорачивающее приспособление должно быть снято только перед включением транзистора в гнезда измерительного прибора. После проведения измерений необходимо установить вновь закорачивающее приспособление.

Погрешность измерения — отклонение результата измерения от истинного значения измеряемой величины. Точность измерения — качество измерения, отражающее близость его результатов к истинному значению измеряемой величины. Высокая точность измерений соответствует малым погрешностям. Псгрешность измерения физической величины складывается из составляющих, обусловленных отличием реального объекта измерения от теоретической 'модели, положенной в основу метода измерения, погрешностями измерения величин, входящих в расчетную формулу, и погрешностями, вызванными условиями проведения измерений.

В основе ионного травления лежит бомбардировка образца ионами газов, например азота или кислорода. Процесс обеспечивает необходимую скорость удаления материала и применим к большинству полупроводниковых материалов. Для обеспечения постоянства скорости травления необходима стабильность источника ионов. Основной недостаток метода состоит в том, что на поверхности образца в результате бомбардировки быстро образуется разрушенный слой. Однако потенциальная универсальность метода в сочетании с удобством и большой скоростью проведения измерений делает его перспективным для более широкого использования.

В соответствии с ГОСТ 19658—81 метод модуляции проводимости в точечном контакте используют для измерение времени жизни неравновесных носителей заряда в слитках монокристаллического кремния с удельным сопротивлением 5-10~'—5-1)2 Ом-см в следующих диапазонах: более 2,8 мкс — для кремния /5-типа, более 7,7 мкс — для кремния тг-типа. Измерительный зонд изготавливают для образцов р-типа из фосфористой бронзы, дл:1 образцов га-типа— из алюминия. Формовку контакта измерительного зонда осуществляют кратковременной подачей на измерительный зонд постоянного напряжения от источника с напряжением 300—400 В. Поверхность монокристалла шлифуют абразивным или алмазным порошком; при недостаточной инжекции допускается химическое травление. На боковой поверхности монокристалла создают омический контакт площадью не менее 1 см2 путем нанесения палладия, никеля, индий-галлиевой или алюминий-ггллиевой пасты. Длительность инжектирующего импульса тока выбирают в зависимости от марок образцов и ожидаемого значения времени жизни носителей заряда; при малых значениях времени жизни она составляет 50 мкс. При соблюдении всех требований к с )едствам измерения и вспомогательным устройствам, а также к условиям проведения измерений погрешность измерения времени жизни носителей заряда не превышает ±20%.

Для проведения измерений удобным является ;мкостный мост, в котором ток пропорционален изменению емкости, так как в этом случае измеряется непосредственно разность C(t) — C0; сигнал может быть преобразован в цифровую форму или зарегистрирован с помощью самописца.

Для выполнения экспериментальных измерений отражения требуются поверхности очень хорошего качества. После механической шлифовкч и полировки поверхности не годятся для проведения измерений. Удаление нарушенного поверхностного слоя с помощью химического травления ухудшает <г лоокостность, увеличивая уровень диффузного отражения поверхности. Поэток у требуется тщательный подбор химических травителей для каждого полупроводникового мате-риала. В ряде случаев для измерений отражения пригодны поверхности, полученные .путем скалывания, эпитаксиального выращивания, а также нанесением-вещества в вакууме.

1.3. Приборы для проведения измерений..................................48

Приложение 1. Методика проведения измерений с помощью

В приложении 1 на конкретных примерах рассматривается методика проведения измерений. При этом используются некоторые нестандартные приемы, разработанные авторами в процессе обучения студентов.

1.3. Приборы для проведения измерений

Удобство проведения измерений