Негорючей жидкостью

Часто для сенсибилизации циклокаучука используются ароматические азиды или бис-азиды N3 — R — N3. Структурирование негативного фоторезиста на основе циклокаучука и бис-азида происходит

Освещение негативного фоторезиста вызывает дополнительную полимеризацию его молекул, вследствие чего после проявления пластины полупроводника на ней остаются нерастворимые участки рисунка, которые представляют собой негативное изображение фотошаблона, а неосвещенные участки фоторезиста смываются в растворителе при проявлении.

После этого на поверхность, покрытую пленкой фоторезиста, накладывают фотошаблон и экспонируют в ультрафиолетовом свете. В пленке из негативного фоторезиста при облучении образуются нерастворимые участки, которые после проявления остаются на подложке и экранируют ее ют напыления. В позитивном фоторезисте облучение формирует растворимые участки, на месте которых после проявления образуются окна. Через эти окна напыляемый материал достигает подложки и оседает на ней.

Какой метод не применяется для Нанесения негативного фоторезиста? Вакуумное напыление 74

»'''*'MMifffff При облучении негативного фоторезиста через фотошаблон (позитив) в нем протекают процессы, приводящие к потере растворимости, в результате чего после обработки в соответствующих растворителях (проявителях) удаляются только необлученные участки,' расположенные под непрозрачными элементами фото-

10-2. Процесс поглощения излучения в слое негативного фоторезиста.

На 10-2 схематично изображено поглощение лучей в слое негативного фоторезиста при экспонировании.

а — подложка ИМС; б — сплошной слой материала контактной маски; в— нанесение негативного фоторезиста; г — экспонирование; д — проявление; е — травление или растворение открытых участков материала контактной маски; ж — готовая контактная маска на подложке; з — нанесение слоя материала тонкоплеиочного элемента; и — готовый тонкопленочный элемент на подложке; / — подложка; 1 — материал контактной маски; S — фоторезист; 4— фото-Шаблон; 5 — напыленный материал.

можно снизить нанесением негативного фоторезиста с последую-24

В зависимости от механизма протекающих в фоторезисте реакций и особенностей изменения его свойств фоторезисты делят на негативные и позитивные. При облучении негативного фоторезиста через фотошаблон (позитив) в нем протекают процессы, приводящие к потере растворимости, в результате чего после обработки в соответствующих растворителях (проявителях) удаляются только необлученные участки, расположенные под непрозрачными элементами фотошаблона. В результате на подложке образуется защитный рельеф, повторяющий негативное изображение фотошаблона ( 20, а).

фуге. В качестве фоторезиста применяют светочувствительную эмульсию на основе поливинилового спирта (ПВС) или диазосое-динений. После сушки фоторезистивного слоя в светокопировальной установке производят контактное экспонирование негативного фоторезиста 2 через соответствующий фотошаблон 3 ( 30, б, в). Время экспонирования, подбираемое обычно экспериментально, составляет 2—4 мин.

трехфазный масляный 1000кВ-А с первичным напряжением 10 кВ закрытого типа; ТНЗ-1000/10 и ТСЗ-1000/10— то же, но с негорючей жидкостью (Н) и с сухой изоляцией (С).

Выбор типа трансформаторов. Решение этого вопроса осуществляется в зависимости от условий окружающей среды. Для наружной установки применяют только масляные трансформаторы, а для внутренней — не всегда они рекомендуются (ограничения см. в § 4.2 ПУЭ). Трансформаторы с негорючей жидкостью (совтолом) устанавливаются в тех производственных помещениях, где окружающая среда не допускает использования масляных трансформаторов. Например, они рекомендуются для крупных машинных залов.

Трансформаторы, устанавливаемые на Т. П., могут быть однофазными (по 1 трансформатору на каждую из фаз) и трехфазными. Однофазные трансформаторы применяются при больших мощностях и напряжениях 220 кВ и выше. В зависимости от расположения оборудования различают Т. П. и Р. У. открытого и закрытого типа. Закрытые Т. П. могут быть пристроенными и встроенными. В закрытых Т. П. каждый масляный трансформатор установлен в отдельной закрытой камере. Для цеховых Т. П. очень удобны комплектные Т. П. в виде металлических шкафов с установленным в них оборудованием, аппаратурой и измерительными приборами. Предельная суммарная мощность встроенных цеховых Т. П. с масляными трансформаторами 1000 кВА (мощность сухих трансформаторов и заполненных негорючей жидкостью не ограничивается).

Трансформаторы с негорючей жидкостью выпускают на мощности 630 -3200 кВА. Их целесообразно применять, когда по условиям пожароопасной окружающей среды нельзя установить масляные и в то же время недопустима установка сухих негерметизированных трансформаторов

Конденсаторная установка может состоять из одной комбинированной ячейки с конденсаторами мощностью около 100 квар либо иметь вводную или комбинированную ячейку и необходимое количество конденсаторных ячеек, что обеспечивает мощность батареи 200—300 квар и выше. Следует отметить, что применение конденсаторов, пропитанных вместо масла негорючей жидкостью (совтолом), позволяет увеличить мощность ячеек на 30—35%. В качестве коммутирующей и защитной аппаратуры в установках используются контакторы с предохранителями или автоматы. Кроме того, секции конденсаторов защищаются секционными предохранителями, встроенными в его корпус. В качестве разрядных сопротивлений могут применяться лампы накаливания или специальные 'сопротивления, нормально отключенные от батареи 'и включаемые автоматически при ее отключении от сети.

Для безопасности эксплуатации на КТП применяют трансформаторы, заполненные негорючей жидкостью с сухой изоляцией или с баком повышенной прочности.

2. Принятые обозначения: ТМ •—трансформатор масляный, ТМЗ — трансформатор масляный герметизированный, ТНЗ и ТНЗС — трансформатор с негорючей жидкостью герметизированный, ТСЗ и ТСЗУ — трансформатор е сухой изоляцией, ТМФ — трансформатор масляный с баком повышенной прочности.

В связи с повышением общих требований, предъявляемых энергетикой к силовым трансформаторам, расширением шкалы мощностей и напряжений и существенным улучшением параметров холостого хода и короткого замыкания в последние годы продолжалась работа по стандартизации силовых трансформаторов. В 1969— 1972 гг. были утверждены новые государственные стандарты на трансформаторы общего назна'чения классов напряжения 150, 220, 330 и 500 кВ, а также на некоторые специальные трансформаторы — рудничные, преобразовательные, заполненные негорючей жидкостью и т. п., и

Широкое развитие электрификации железных дорог должно быть обеспечено выпуском достаточного количества трансформаторов для питания выпрямителей, а также специальных трансформаторов для установки на электровозах, работающих на участках, питаемых переменным током. Значительно должны быть расширены выпуск и диапазон мощностей трансформаторов для питания электрических печей, трансформаторов, заполненных негорючей жидкостью, и различных реакторов.

Широкое развитие электрификации железных дорог должно быть обеспечено выпуском достаточного количества трансформаторов для питания выпрямителей, а также специальных трансформаторов для установки на электровозах, работающих на участках, питаемых переменным током. Значительно должны быть расширены выпуск и диапазон мощностей трансформаторов для питания электрических печей, трансформаторов, заполненных негорючей жидкостью, и различных реакторов.

ной (выемной) частью трансформатора ( 40), которая погружается в бак, заливаемый трансформаторным маслом или негорючей жидкостью (совтол).