Необходимой конфигурации

Сущность процесса формирования таких выводов заключается в следующем: на полупроводниковую подложку с изготовленными структурами приборов наносится металлическая пленка, из.которой методами фотолитографии формируются выводы в виде тонких полос металлической пленки. Для придания необходимой жесткости выводам толщина металлической • пленки электролитически наращивается до 15 ...20 мкм. Ненужная часть полупроводниковой подложки удаляется химическим травлением [7]. Присоединение бескорпусных приборов осуществляется термокомпрессионной сваркой ( 1.14, г).

Поскольку для обеспечения необходимой жесткости маски имеют сравнительно большую толщину, их края затеняют прилегающие к ним участки подложки.

Допустимое напряжение ограничено условием необходимой жесткости нажимной шайбы. Для стали марки СтЗ а п = 600 • 105 Па.

Обеспечить работу радиоэлектронных устройств при наличии высокочастотной вибрации только за счет придания конструкции необходимой жесткости удается не всегда, а в ряде случаев это экономически или технически нецелесообразно. Тогда в конструкцию изделия вводят амортизаторы. В общем случае амортизатор — это пружинящий элемент, соединяющий аппарат с вибрирующим Основанием: корпусом корабля, фюзеляжем самолета и т. д. ( 15.3). Конструктивно амортизатор выполняют так, что он может выдерживать дей-

Выбор способа крепления подвижной части определяется значением преобразуемого усилия. Для больших усилий подвижная часть крепится обычно на мембране, для малых — на растяжках или кружевной мембране. Значение необходимой жесткости упругого элемента должно выбираться исходя из заданного усилия Fx и допустимого перемещения х подвижной части,

(снимается с шунта /?ш). При реализации этой схемы для конкретного электропривода обратных связей (одной или двух) может не быть или же в схему могут быть введены дополнительно гибкие обратные связи. Чтобы понять принцип получения необходимой жесткости и стабильности механической или электромеханической характеристик привода, достаточно рассмотреть действие каждой из названных обратных связей.

(снимается с шунта /?ш). При реализации этой схемы для конкретного электропривода обратных связей (одной или двух) может не быть или же в схему могут быть введены дополнительно гибкие обратные связи. Чтобы понять принцип получения необходимой жесткости и стабильности механической или электромеханической характеристик привода, достаточно рассмотреть действие каждой из названных обратных связей.

Характерной особенностью вентильных двигателей, отличающей их от двигателей по-сто,янного тока, является наличие дополнительного канала управления по углу синхронизации инвертора. Этот канал используется для обеспечения необходимой жесткости механической характеристики и достижения большей перегрузочной способности.

В осевом направлении сердечник статора состоит из пакетов толщиной 3—6 см, разделенных вентиляционными каналами шириною 5—10 мм ( 1-2). Для придания всей системе статорной стали необходимой жесткости, она с обеих сторон сжимается посредством специальных нажимных плит из немагнитного чугуна или стали, иайно важное значение имеют вопросы вентиляции турбо-

Когда толщина стенок кожуха не обеспечивает необходимой Жесткости, вместо отверстий применяют жалюзи. Размеры и форма жалк>зп унифицированы. Если отверстия уменьшают жесткость кожуха, то жалюзи увеличивают ее. Использование жалюзи ухудшает теплообмен примерно на 10 % по сравнению с отверстиями.

Для нормальной работы машины ( 1-5), передачи вращающего момента, обеспечения необходимой жесткости и прочности активных частей имеются конструктивные части: вал 7, подшипники 8, подшипниковые щиты 9 или фундаментная плита с подшипниковыми стойками, щеткодержатели 10. Для охлаждения машины служит вентилятор 11.

Применяя для отдельных участков магнитопровода ферромагнитные материалы с различными магнитными свойствами и геометрическими формами, можно решать технические задачи усиления поля и придания ему необходимой конфигурации в рабочих объемах электромагнитных устройств.

Пленочные резисторы в структурном отношении представляют собой узкую полоску резистивной пленки, снабженную пленочными контактными площадками с низким сопротивлением. Они характеризуются такими основными параметрами, как номинальное значение сопротивления R, допуск на сопротивление ±6/?, мощность рассеяния Р, температурный коэффициент сопротивления ТКЯ, коэффициент старения /ССтя, интервал рабочих температур ДТ = Т — Т„, надежность и др. Требуемые значения параметров пленочных резисторов определяются схемотехническим решением и условиями эксплуатации ИМС. Кроме того, параметры пленочных резисторов зависят от материала резистивной пленки, способа нанесения пленки на подложку, способа получения необходимой конфигурации и других технологических факторов.

С целью уменьшения площади, занимаемой резистором, следует стремиться к увеличению отношения l/b, что может быть достигнуто за счет уменьшения ширины резистора b (увеличение длины / нецелесообразно, а значение р$ является постоянным для данного материала). Однако минимальная ширина резисторов ограничена рядом технологических и эксплуатационных факторов: способом нанесения пленки и формирования необходимой конфигурации, точностью изготовления резистора и мощностью рассеяния.

Полупроводниковые соединения обычно имеют высокое давление пара легколетучего компонента при температурах диффузии, поэтому методами селективной эпитаксии из них можно получать многослойные структуры необходимой конфигурации с заранее определенными свойствами. Дальнейшее совершенствование эпитаксиальных методов уже в ближайшее время позволит исключить диффузионные процессы в производстве полупроводниковых приборов и микросхем на основе арсенида галлия и других полупроводников типа AnlBv.

с диаметром проволоки около 0,1—0,2 мм и размером ячейки до сотых долей миллиметра. От качества трафарета во многом зависят технико-экономические показатели качества корпуса. Трафарет должен обеспечить высокую тиражестойкость и разрешающую способность, плоскостность и ровность края наносимого рисунка. Конструктивно трафарет ( 10.9, а) представляет собой рамку / с прижимом 2, на которую равномерно с заданным усилием натягивается сетка 4. При этом должен обеспечиваться прогиб сетки в заданных размерах при определенной нагрузке. На сетку наносится фотоэмульсия 3 и высушивается. После экспонирования рисунка ультрафиолетовым светом пленка полимеризуется, а неэкспонированные участки рисунка растворяются. Таким образом, в сетчатом трафарете часть ячеек остается открытой, образуя рисунок необходимой конфигурации. «Сырая» групповая заготовка слоя основания, на которую наносится паста, устанавливается под трафаретом. При передвижении ракеля через отверстия трафарета паста переносится на заготовку в виде столбиков, копирующих отверстия в сетке. Растекаясь, эти столбики сливаются, образуя такой же рисунок, как и на трафарете. Схема нанесения пасты через сетку трафарета показана на 10.9, б, где / — трафарет; 2 — ракель; 3 — паста; 4 — групповая заготовка слоя основания.

стейшего рисунка толстопленочной микросхемы. Трафареты изготовляют в виде сетки из 'нержавеющей стальной проволоки (или других материалов) диаметром порядка 0,1 мм; размеры ячеек в сеже — порядка сотых долей миллиметра. Перед нанесением рисунка сетку равномерно натягивают и закрепляют на жесткую рамку. После тщательного обезжиривания и промывки на сетку равномерным слоем 'наносят фотоэмульсию. После высыхания последней на нее проектируют рисунок фототрафарета, при этом прямые линии фототрафарета совмещают с линиями сетки. После экспонирования ультрафиолетовым светом пленка лолимеризуетея, а неэкспонированные участки рисунка растворяются. Таким образом, часть ячеек в трафарете остается открытой, образуя рисунок необходимой конфигурации.

Магнитной цепью называют часть электротехнического устройства, предназначенную для создания в его рабочем объеме магнитного поля заданной величины и конфигурации. Магнитная цепь обычно состоит из источников, возбуждающих магнитное поле в цепи (электромагниты, постоянные магниты), а также ряда тел и сред (магнитопровода), образующих практически замкнутые пути, по которым замыкается основная часть магнитных линий созданного поля. Применяя для отдельных участков магнитопровода ферромагнитные материалы различных магнитных свойств и геометрических форм, можно решать технические задачи усиления поля и придания ему необходимой конфигурации в рабочих объемах электромагнитных устройств. Конструктивное исполнение магнитных цепей бывает весьма разнообразным по форме, геометрическим размерам и материалам их отдельных участков. Они, так же как и электрические цепи, могут быть неразветвленными и разветвленными, с одной или несколькими намагничивающими силами и т. п.

Для получения необходимой конфигурации полоско-вых проводников используется двойная фотолитография по слоям меди и титана, т. е. избирательное химическое травление пленки медь — титан там, где остаются места незащищенные маской из фоторезиста.

Составными элементами потенциалоскопов являются мишень {потенциалоноситель), на поверхности которой создается потенциальный рельеф, электронные прожекторы, создающие записывающий и считывающий электронные лучи, и отклоняющие системы. В отдельных случаях для создания записывающего и считывающего луча используется один прожектор. Кроме основных элементов, потенциалоскопы имеют коллектор, собирающий электроны (вторичные электроны, фотоэлектроны, электроны, отраженные от мишени), сетки для создания электростатических полей необходимой конфигурации и другие вспомогательные элементы, например проводящую подложку мишени. Проводящая подложка часто называется сигнальной пластинкой, так как к ней может подводиться записываемый сигнал или с нее «сниматься» считываемая информация.

Для прошивания и резки постоянных магнитов используются латунные или медные электроды-инструменты необходимой конфигурации и размеров. Кроме латунных и медных электродов используются также электроды из специального графита марки ЭЭГ, обладающие хорошей электропроводностью и эрозионной стойкостью. Расход электродов-инструментов зависит от обрабатываемого материала, материала электрода, режимов' обработки, условий прокачки рабочей жидкости. На грубых режимах расход латунных электродов составляет до 100%, а графитовых до 40% от веса снятого материала.