Минимальными затратами

Контроль узлов с минимальными размерами плат до 60 см и более

уже в ближайшее время повысить разрешающую способность в 5... 10 раз. Таким образом, окажется возможным перейти к изготовлению структур с минимальными размерами элементов 100... ... 200 нм.

Фотолитография заключается в нанесении на пластину фоточувствительного слоя. Этот слой засвечивают через маску, и при проявлении на пластине образуется рисунок определенной конфигурации. При травлении пластины в плавиковой кислоте под рисунком SiO2 не удаляется, окна в защитной пленке SiO2 вскрываются только на неосвещенных участках. Фотолитография позволяет создать рисунки с размерами элементов не менее 2 мкм. Более высокой разрешающей способностью обладает электронно-лучевая литография, позволяющая при засветке пластины электронным лучом создавать элементы с минимальными размерами до 0,1 мкм.

Ведущую роль в создании рекордных по степени интеграции элементов и компонентов образцов аппаратуры играет разработка принципиально новых технологических процессов, позволяющих реализовать конструкции с минимальными размерами отдельных деталей, вплоть до субмикронных (менее 1 мкм).

Однако интегрально-групповая технология изготовления пассивной части гибридных ИМС выдвигает в число основных и другие факторы, определяющие рациональную сложность ИМС. Так, использование для изготовления гибридных ИМС подложек и корпусов различных размеров и совершенствование технологии в целях получения пленочных элементов с минимальными размерами позволяют реализовать на одной плате несколько однотипных схем (две, четыре и более) или одну схему повышенной функциональной сложности. Это, с одной стороны, приводит к созданию ИМС повышенной степени интеграции при одновре-

Разрешение фоторезиста можно характеризовать также выделяющей способностью, т. е. способностью передавать отдельные элементы изображения с минимальными размерами.

Примером простых ИМС могут служить логические элементы. Средние ИМС — это сумматоры, счетчики, оперативные запоминающие устройства (ОЗУ), постоянные запоминающие устройства (ПЗУ) емкостью 256—1024 бит. Большие ИМС (БИС) — это арифметико-логические и управляющие устройства. Со второй половины 70-х годов разрабатывают ИМС 4 —5-й степени интеграции с числом элементов ЛГ = 10*-г 106 и минимальными размерами элементов 1,0 — 0,1 мкм (СБИС).

Высокая разрешающая способность. В настоящее время используются фотошаблоны с минимальными размерами элементов рисунка — до единиц и десятых долей микрометра.

Примером установок подобного типа может служить отечественная электронно-лучевая установка высокого разрешения (ЭЛУВР), предназначенная для изготовления (экспонирования) фотошаблонов полупроводниковых ИС с минимальными размерами элементов 1 мкм и несовмещаемостью слоев 1 мкм. Программное перемещение луча осуществляется от ЭВМ.

Однако интегрально-групповая технология изготовления пассивной части гибридных ИМС выдвигает в число основных и другие факторы, определяющие рациональную сложность ИМС. Так, использование для изготовления гибридных ИМС подложек и корпусов различных размеров и совершенствование технологии в целях получения пленочных элементов с минимальными размерами позволяют реализовать на одной плате несколько однотипных схем (две, четыре и более) или одну схему повышенной функциональной сложности. Это, с одной стороны, приводит к созданию ИМС с повышенной степенью интеграции при одновременном повышении надежности устройств за счет сокращения числа соединений. С другой стороны, с увеличением числа элементов на плате, особенно пленочных, повышается вероятность брака платы

Примером установок подобного типа может служить отечественная электронно-лучевая установка высокого разрешения (ЭЛУВР), предназначенная для изготовления (экспонирования) фотошаблонов полупроводниковых ИС с минимальными размерами элементов 1 мкм и несовмещаемостью слоев 1 мкм. Программное перемещение луча осуществляется от ЭВМ.

Из серийно-выпускаемых современных средств транспорта наиболее полно и просто эти функции может осуществлять подвесной робот-транспортировщик, использование которого в достаточной степени удовлетворяет предъявляемым выше требованиям и позволяет: обойтись минимальными затратами производственных площадей; разделить технологический и материальный потоки; организовать встречные грузопотоки (возврат тары, изделий, полуфабрикатов).

Поиск оптимального решения поставленной и сформулированной задачи осуществляется математическими методами, известными в области математического программирования. Эти методы довольно многочисленны. Разработчик САПР должен знать методы оптимизации и осуществлять выбор наиболее рационального метода, отвечающего особенностям решаемой задачи, так как это повышает вероятность ее успешного решения с минимальными затратами.

По минимуму приведенных затрат в результате сравнения выбирается наиболее рациональный вариант. Варианты схем считаются равноэкономичными, если приведенные затраты других схем от схемы выдачи мощности с минимальными затратами отличаются не более чем на 5%. В этом случае окончательный выбор схемы выдачи мощности осуществляется с привлечением комплексного критерия эффективности, который составляется на основе методов экспертных оценок [14, 15].

Технико-экономические требования ориентируют на базовый принцип конструирования МЭА, позволяющий обеспечить оптимальную номенклатуру сборочных единиц и деталей, конструктивную совместимость отдельных функциональных блоков МЭА, создать на базе одного типа аппаратуру различных модификаций с минимальными затратами. При конструировании однотипной МЭА стремятся использовать единые материалы, покрытия, элементы и принципы крепления, стандартизацию и унификацию форм и элементов. На 4.2 показаны варианты формообразования типовой конструкции корпуса измерительного прибора.

Особенностью современного подхода при конструировании РЭС является не только то, что в результате должен быть получен оптимальный вариант конструкции, но и то, что конструирование должно быть проведено в минимальные сроки и с минимальными затратами. Для этого в ряде случаев целесообразно использовать математическую модель конструкции и проводить ее анализ на ЭВМ. Под математической моделью физического объекта (моделью) понимается совокупность математических объектов (чисел, переменных, векторов, множеств и т. п.) и отношений между ними, отражающая свойства проектируемого объекта.

3) стремлением в кратчайшие сроки и с минимальными затратами перейти к использованию природных энергетических ресурсов;

Рассмотренная процедура отличается высокой эффективностью и проста для программирования. Ее реализация позволяет с высокой точностью и минимальными затратами времени вычислять матричные экспоненты. Определив матричную экспоненту еА'« в некоторой точке t = tn и умножив ее справа на вектор х0 или х0 — х0', можно получить соответствующее значение свободной или преходящей составляющей решения уравнения (5.1).

Рассмотренная процедура отличается высокой эффективностью и проста для программирования. Ее реализация позволяет с высокой точностью и минимальными затратами времени вычислять основные функции, входящие в выражения для решений уравнений состояния реактивных электрических цепей. Рассчитав функции CN и SK и умножив их справа на х0 и XQ, можно получить и значение преходящей составляющей решения уравнения (5.5) в точке t = H. Расчет установившихся, свободных и принужденных составляющих решений уравнения (5.5) аналогичен их расчету в уравнении (5.1).

Целесообразно также включать в состав МетО не только документы, указанные в ГОСТ 23501.001—83, но и методические материалы, которые дают возможность пользователям с минимальными затратами времени познакомиться с организацией системы и средствами обеспечения.

К особенностям данных, требующихся проектировщикам ЭМММ, следует отнести большое число параметров, признаков и условий, при которых эти данные справедливы. Например, для электротехнических сталей важнейшей характеристикой, как известно, являются кривые намагничивания. Эти кривые строятся для определенных марок при оговоренных сортаменте, классе магнитных свойств, термической обработке, направлении намагничивания (относительно направления прокатки), температуре, частоте перемагничивания и заводе-изготовителе. Изменение любого из перечисленных условий влечет новую кривую намагничивания, которая отображается значениями индукции и напряженности в 10—15 точках. Из приведенного примера видно, что объем записываемой информации достаточно велик, а изобилие отличительных признаков существенно усложняет схему организации наборов данных. Однако для проектировщиков ЭМММ эта информация необходима, что равнозначно необходимости записи ее в базу данных. Выбранная СУБД позволяет решить эту задачу с минимальными затратами.

Действующая в настоящее время нормативно-техническая документация позволяет с минимальными затратами времени и средств определить необходимую конструкцию блока в соответствии с заданными условиями эксплуатации и видом аппаратуры. Эти документы определяют общие технические требования к блоку и его конструкции, основные габариты, установочные и присоединительные размеры блоков и стоек, конструктивное исполнение базовых конструкций блока и составляющих его частей. Нормативно-технические документы позволяют сократить время на разработку аппаратуры, создать условия для организации централизованного выпуска базовых несущих конструкций аппаратуры определенного класса и тем самым снизить стоимость РЭА. Однако нормативные документы сковывают инициативу конструктора и в определенное время становятся тормозом в дальнейшем развитии конструирования. В таком случае эти документы подлежат пересмотру и замене.