Контролируемые параметры

В процессе проявления важно контролировать температуру и значение рН проявителя. Изменение рН всего на 0,1 вызывает отклонение в размере элементов на ~ 10 % от номинального значения.

У неуправляемых двигателей xm'^>rR', поэтому особенно важно следить за постоянством насыщения, так как диаметр круговой диаграммы определяется в основном параметром хт'. Контролировать температуру обмоток особенно важно при измерении сопротивления короткого замыкания, так как именно эти измерения определяют основные построения. Чтобы исключить влияние изменения сопротивления обмотки статора rs при переменной температуре, целесообразно строить круговую диаграмму сопротивления Z—rs (а не сопротивления Z), измеряя величину rs после каждого опыта.

У неуправляемых двигателей хт'^>Гя, поэтому особенно важно следить за постоянством насыщения, так как диаметр круговой диаграммы определяется в основном параметром хт'. Контролировать температуру обмоток особенно важно при измерении сопротивления коротксго замыкания, так как именно эти измерения определяют основные построения. Чтобы исключить влияние изменения сопротивления обмотки статора rs при переменной (температуре, целесообразно строить круговую диаграмму сопро- '/ тивленкя Z—rs (а не сопротивления Z), измеряя величину rs после каждого опыта.

2) в число параметров можно было бы включить массовое паросодер-жание на выходе. Однако в опытах легче контролировать температуру воды на входе. Между использованием в обработке ?вх('вх) или х нет принципиальной разницы, так как эти величины сь:.-.аны уравнением теплового баланса. Дальнейшая обработка показала целесообразность введения параметра Д/вх = ''"—*вх- В итоге получаем следующие параметры для обработки:

Проявление производят жидкой струйной обработкой при комнатной температуре. В зависимости от органической пленочной основы сухого ФПК для проявления применяют 0,15%-ный раствор NaOH [100] или хлорированные углеводороды (например, метил-хлороформ). При этом вымываются незасвеченные участки и под ними растворяется пленочная основа. Чем тоньше основа, тем слабее краевой эффект—растворение под краем слоя. Для снижения краевого эффекта необходимо контролировать температуру, давление струй растворителя и продолжительность (10—75 с) [101]. Гидравлическое давление остро направленных струй облегчает удаление продуктов растворения из засвеченной зоны.

Датчики, интегрированные в двигателе, позволяют контролировать температуру двигателя, воздушный поток, проходящий через вентилятор, состояние подшипников.

На электролизных установках СЭУ-10х2 и СЭУ-20х2, где применяются схемы сорбционной осушки водорода и кислорода, следует контролировать температуру газов в процессе регенерации силикагеля. Температура газа на входе в горячий регенерируемый адсорбер-осушитель должна составлять 200-220 °С, температура газа на выходе из горячего адсорбера в конце регенерации достигает 100-110 °С и стабилизируется на этом уровне.

Дополнительно контролируется температура отдельных ячеек электролизера. Этот вид контроля на большинстве установок осуществляется с помощью жидкостных термометров, которые укрепляются или укладываются на ячейки и изолируются асбестом. Можно контролировать температуру отдельных ячеек электролизеров с помощью термощупов.

Переносные инфракрасные пирометры. Инфракрасный термометр "Кельвин" предназначен для дистанционного бесконтактного измерения температуры поверхности различных материалов по их собственному тепловому излучению (рисунок 4.13). Позволяет контролировать температуру локальных зон на поверхности труднодоступных объектов и предметов, находящихся под высоким электрическим напряжением. Для предприятий электроэнергетики, тепловых сетей, коммунального хозяйства рекомендуется модель "КЕЛЬВИН -400 ЛЦМ".

Реакция 4.17 происходит при газофазной эпитаксии при низком давлении с применением диффузионной печи ( 4.33), позволяющей легко контролировать температуру. В результате получаются однородные слои нитрида кремния. Производительность процесса достаточно высока. Полученный SisN4 является аморфным диэлектриком (показатель преломления 2,01), содержащим несколько процентов Н2. Добавление кислорода ухудшает свойства слоев S13N4. Качество слоев 51зМ4 контролируется по удельному сопротивлению (~108 Ом-см), показателю преломления, скорости травления в кислоте HF и др. Слои SisN4 имеют высокую твердость и большую прочность на растяжение. Электрические свойства Si3N4 представлены в табл. 4.9.

2. Разработка технологии регулировки, произвэдственного контроля и испытаний сборочных единиц, т. е. определение последовательности и методики регулировки, а также допусков на контролируемые параметры.

и «отдыха», температура и т. д.) выбирают в зависимости от вида испытуемого материала. После окончания испытаний производят кондиционирование образцов и определяют их контролируемые параметры (стойкость к механическим воздействиям, холодостойкость и др.).

ление металлизации, контактное сопротивление между слоем металла и полупроводника, стабильность оксида и т.д. Преимуществом использования этих структур является возможность применения автоматизированного много-позиционного контрольно-измерительного оборудования с многозондовыми головками, а также то, что контролируемые параметры характеризуют свойства всех остальных «рабочих» структур на пластине.

Технологическая операция Контролируемые параметры Методы контроля Средства контроля Вид контроля Возможные дефекты

Технологическая операция Контролируемые параметры Методы контроля Средства контроля Вид контроля Возможные дефекты

Контролируемые параметры

Технологическая операция Контролируемые параметры Методы контроля Средства контроля Вид контроля Примечание

где п —число контролируемых параметров; XKI — контролируемые- параметры исследуемого изделия; XRJ — контролируемые параметры изделия, принадлежащего к данному образу; ц,к — поправочный коэффициент (в первом приближении рекомендуется принимать

Во второй части первого этапа производится обучение — оптимизация распознающей функции, оценка информативности контролирующих параметров и определение продолжительности испытаний при индивидуальном прогнозировании. Для решения задач обучения из состава изделий, прошедших испытания на первом этапе исследования, методом случайного отбора формируют обучающие партии не менее 15 экземпляров изделий каждого образа. Каждое из изделий проверяют на принадлежность к своему образу путем использования потенциальной распознающей функции. При этом обнаруживается целесообразность внесения корректив в их функции и значения используемых коэффициентов. Для удобства вычислений контролируемые параметры нормируются по формуле XKH=XK/OXK- На втором этапе исследований производится, собственно, прогнозирование, которое связано с измерением контролируемых параметров в одной или нескольких временных точках. По результатам измерений с помощью распознающей функции определяют, к какому из образов относится исследуемое изделие. Для этого находят суммарные нормированные потенциалы исследуемого изделия X и образов А, В, С; .... М: .

При управлении режимами важное значение имеют методы расчета оптимальных режимов. Оптимальный режим должен быть допустимым, т. е. удовлетворять условиям надежности электроснабжения и качества электроэнергии, и, кроме того, наиболее экономичным среди допустимых режимов. Условия надежности электроснабжения и качества электроэнергии при расчетах допустимых режимов учитываются в виде ограничений (в форме равенств и неравенств) на контролируемые параметры режима. Наиболее экономичный режим — это такой

Различные методы и задачи определения оптимальных режимов рассмотрены в соответствующей технической литературе [17]. В данной главе рассматривается частная, но важная задача оптимизации режима — оптимальное распределение активных мощностей тепловых электростанций. Параграф 4.3 посвящен решению этой задачи методом Лагранжа. Основное внимание в данной главе уделено применению градиентного метода для оптимизации режима. В § 4.2 рассмотрено его использование для решения уравнения установившегося режима, а в § 4.4 и 4.5 — для оптимизации распределения активной мощности без учета и с учетом технических ограничений — неравенств на контролируемые параметры .режима. Тот, кто интересуется только задачей ввода режимов в допустимую область, может изучать пример 4.7 из § 4.5 сразу после § 4.2, предварительно ознакомившись с расчетными выражениями для метода приведенного градиента (4.33) — (4.36). В этой главе использованы примеры, содержащиеся в [20].