Измеряемых параметров

7.8.1. Аналоговые элекгропные вольтметры. В радиоэлектронных цепях к вольтметрам, как и другим измерительным приборам, предъявляются повышенные требования, такие как ничтожно малое потребление мощности, частотный диапазон измеряемого напряжения от единиц герц до сотен мегагерц, и в то же время слабая зависимость показаний от частоты измеряемого напряжения, высокая чувствительность и т. д. Этим требованиям не соответствуют стрелочные вольтметры, которые осуществляют непосредственную оценку (прямой отсчет) измеряемого напряжения. Вышеперечисленным требованиям удовлетворяют аналоговые электронные вольтметры, использующие усилители измеряемых напряжений.

При выверке нуля прибора необходимо заземлить вход усилителя постоянного тока, а при градуировке его вход подключается к калибратору, т. е. источнику калиброванного напряжения. Если появляется необходимость измерения переменного напряжения, последнее после делителя подается на преобразователь, где преобразуется в постоянное, после чего подается на вход усилителя постоянного тока. Цифровые вольтметры обеспечивают высокую скорость преобразования (до тысячи измерений в секунду), а также" малую погрешность измерения (0,01—0,001%) в диапазоне измеряемых напряжений от 0,1 мкВ до 1000 В. К недостаткам цифровых вольтметров, как и в целом ЦИП, можно отнести их сложность и высокую стоимость.

Следует отметить, что высокое контактное сопротивление между зондом и образцом является одной из основных причин, ограничивающих применение четырехзондового метода для измерения удельного сопротивления широкозонных полупроводников типа А3В5 и А2В6. В технических условиях на монокристаллический кремний в слитках в соответствии с ГОСТ 19658—81 предусмотрена следующая методика измерения удельного сопротивления. Она распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые по методу Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиаль-ных структур и структур металл — диэлектрик — полупроводник. Методика предназначена для измерения удельного электрического сопротивления на торцевой поверхности слитков кремния от 10~4 до 103 Ом-см. Измерения проводят на плоских поверхностях, имеющих шероховатость не более 2,5 мкм при фиксированной температуре (23±2)°С. Используют четырехзондовую измерительную головку типа С2080 с четырьмя линейно расположенными зондами из карбида вольфрама с межзондовым расстоянием (1,3± ±0,01) мм и максимальным линейным размером рабочей площадки зонда не более 60 мкм. Усилие прижима зонда к поверхности слитка составляет 0,5—2,0 Н. Измерительные приборы обеспечивают измерение силы электрического тока с погрешностью не более 0,5%, а электрического напряжения—с погрешностью не более 1% при необходимом для правильного измерения входном сопротивлении. Предельные значения рабочих токов и измеряемых напряжений, а также входных сопротивлений в зависимости от удельного сопротивления кремния приведены в табл. 1.2.

Аналогичные расчеты для других пределов измеряемых напряжений и токов сведены в табл. 8.2.

Усилители. Усилители, применяемые в вольтметрах, оказывают существенное влияние на метрологические характеристики вольтметра (чувствительность, диапазон частот измеряемых напряжений и, в значительной мере,

нусоидальной формой измеряемого напряжения. Преобразователи действующего значения измеряемых напряжений в напряжение постоянного тока обычно реализуются на основе термоэлектрических преобразователей. Общим недостатком ЦВ переменного тока, которые в настоящее время выпускаются промышленностью, является их невысокая точность. Ниже приводятся параметры одной из таких моделей ЦВ.

Погрешность при определении удельной мощности потерь феррометром будет тем меньше, чем ближе форма кривых i\ и е2 к синусоидальной. Это связано с тем, что вольтметр феррометра дает показания в действующих значениях только при синусоидальной форме измеряемых напряжений.

3. Подавая на первичную обмотку трансформатора АХ напряжение, равное 0,5^/ном, t/ном и l,5t/HOM, записать значения тока и напряжения и форму их кривых. Для всех измеряемых напряжений и токов форма кривых зарисовывается карандашом на

При выверке нуля прибора необходимо заземлить вход усилителя постоянного тока, а при градуировке его вход подключается к калибратору, т. е. ис" очнику калиброванного напряжения. Если появляется необходимость измерения переменного напряжения, последнее после делителя подается на преобразователь, где преобразуется в постоянное, после чего подается на вход усилителя постоянного тока. Цифровые вольтметры обеспечивают высокую скорость преобразования (до тысячи измерений в секунду), а также малую погрешность измерения (0,01—0,001%) в диапазоне измеряемых напряжений от 0,1 мкВ до 1000 В. К недостаткам цифровых вольтметров, как и в целом ЦИП, можно отнести их сложность и высокую стоимость.

делить показания вольтметров V\ и Vz и построить векторную диаграмму всех ЭДС, а также измеряемых напряжений.

5. Определение показаний пр и б оров. Име>1 (табл. 18.1) постоянную составляющую и действующие значения гармоник измеряемых напряжений и токов, определяем показания приборов (действующие значения несинусоидальных напряжений, токов), как было показано в § 18.2 (п. 4). В нашем случае

Процедура контроля качества продукции радиопромышленности по количественному признаку может быть сведена к следующим операциям. Из объема представленной на контроль партии случайным образом выбирается выборка объема п. Каждое изделие в выборке контролируется путем измерения параметров (i/i, . . ., r/t). Число измеряемых параметров определяется требованиями ТУ и рядом дополнительных соображений. В крайнем случае может быть измерен только один наиболее представительный параметр — у. Пусть при измерении параметра у выбранных изделий получены конкретные значения г/ь ... уп. Качество представленных к контролю изделий должно быть признано соответствующим требуемому уровню, если некоторая функция полученных величин Q( •••. Уп) находится в пределах заданной области Q°, т. е.

Расход газообразного или жидкого топлива также можно определить достаточно точно путем непосредственных замеров. Надежные методы непосредственного замера расхода твердого топлива пока не найдены. В этом случае приходится использовать метод обратного баланса, для чего производятся замеры величин, необходимых для подсчета отдельных составляющих (потерь). Вследствие практически непрерывного изменения измеряемых параметров и трудностей в осуществлении достаточно точных замеров отдельных величин (например, определение содержания горючих в шлаке) опыт усложняется и дает повышенную погрешность. Поэтому наиболее точные результаты могут быть получены при работе котла на газе или мазуте.

Уравнения для вычисления измеряемых параметров

Уравнения для вычисления измеряемых параметров

Сигналы, несущие сообщение о значении измеряемых параметров, становятся, очевидно, импульсными, причем длина сигнала Тс не может быть больше интервала Тк, а период их повторения для каждого параметра равен Тл. Это означает, что вместо передачи текущих значений некоторого параметра m(t) ( 1.30,6) передают его мгновенные так называемые выборочные значения m(k Та) . Но не означает ли это, что при передаче теряется информация о законе изменения функции m(t)? Оказывается, что нет.

измерения характеризуются рядом особенностей, обусловленных весьма малыми размерами пленочных элементов, большим количеством и разнообразием таких элементов на одной подложке, а также широким диапазоном значений измеряемых параметров. Кроме того, с развитием тонкопленочной микроэлектроники наблюдается тенденция к ужесточению допусков на параметры элементов (в основном элементов аналоговых ИМС). Поэтому при измерении параметров элементов микросхем используют специальные приспособления, служащие для надежного подключения пленочного элемента к измерительному прибору и получения небольшого переходного сопротивления между зондом приспособления и контактной площадкой ИМС при малой площади контактирования.

Широкий диапазон измеряемых параметров и различные требования к их точности обусловливают применение для тонкопленочных ИМС различных измерительных приборов. Нередко для измерения параметров только одной микросхемы используют несколько приборов.

Широкая номенклатура аналоговых ИМС предопределяет большое количество измеряемых параметров. Каждый тип аналоговой ИМС характеризуется своей совокупностью параметров.

Конструкция катушки (датчика) зависит от фэрмы и измеряемых параметров образца. Для контроля свойств монокристаллов, имеющих форму стержней круглого сечения, применяют проходные катушки. Большей универсальностью обладают накладные катушки, которые располагают на поверхности измеряемого образца. Их изготавливают небольшого диаметра с применением магнитопро-

Логические ИМС находят широкое применение в измерительной технике. Они дают возможность значительно увеличить число измеряемых параметров и повысить точность измерений, в частности существенно улучшить параметры осциллографов. При отображении световых сигналов синхронизация развертки с помощью логической пусковой схемы позволяет получать более стабильные изображения на экране электронно-лучевой трубки, а добавление к осциллографу схемы умножения — отображать на экране произведение двух входных сигналов

Множество измеряемых параметров, их пространственное рассредоточение, необходимость автоматизации управления путем централизованного получения измерительной информации, ее обработки и выработки управляющих воздействий предопределяют преимущественное использование электрических методов измерения неэлектрических величин, так как электрические сигналы наиболее удобны для передачи, измерения и обработки.