Изготовление элементов

В оптическом диапазоне волн направляющие системы выполняют в виде стекловолоконных пучков. Шнур, составленный из множества тончайших нитей, является прекрасным каналом передачи сообщений, к тому же весьма удобным в технологическом отношении. В направлении поиска подходящих материалов и технологии изготовления волноводов такого типа уже получены обнадеживающие результаты. Радиоинженерам открываются большие возможности освоения микроволнового диапазона и

Для экранирования элементов механической передачи настройки и регулировки устройств СВЧ применяют дроссельные устройства, позволяющие разместить электрический контакт в узле стоячей волны тока; при этом требования к качеству контакта значительно снижаются. Плечи дроссельного устройства ( 2.66, а) выбирают такими, чтобы они были равны примерно четверти средней длины волны. Поэтому дроссельные устройства являются очень узкополосными и применяют их для защиты устройств СВЧ только от внутреннего излучения. Обеспечение электрогерметичности устройств СВЧ требует высокой точности изготовления волноводов и их взаимной ориентации.

13. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВОЛНОВОДОВ И ПОЛОСКОВЫХ ЛИНИЙ ПЕРЕДАЧ СВЧ

13.3. ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВОЛНОВОДОВ

Цельные волноводы сложной формы выполняют обычно методом литья по выплавляемым моделям и реже — литьем под давлением. Типовой ТП изготовления волноводов методом литья по выплавляемым моделям содержит основные этапы: изготовление отдельных моделей волноводов и элементов литниковой системы из модельного состава (парафиностеарино-вой смеси), сборка моделей и литниковых систем в блоки, получение модельной оболочки нанесением многослойного огнеупорного покрытия на блоки, сушка покрытия, выплавление модельного состава из огнеупорной оболочки и прокаливание ее при температуре от 670 до 973 К в зависимости от температуры заливки литейного сплава, заливка литейного сплава, охлаждение отливок, отделение литников, отжиг отливок, дополнительная механическая обработка мест соединений. Отжиг отливок проводится для снятия внутренних напряжений, возникших при кристаллизации и охлаждении металла. Одним из существенных недостатков изготовления волноводов методами литья является пористость. Для ее ликвидации применяют вакуумную пропитку отливок лаками.

13. Технология изготовления волноводов и полосковых линий

13.3. Особенности технологии изготовления волноводов .... 229

В учебном пособии изложены вопросы технологии изготовления волноводов, волноводных корпусов и волноводных устройств, а также технологии изготовления полосковых устройств и интегральных схем СВЧ с распределенными и сосредоточенными параметрами. Рассмотрены способы изготовления и отделки корпусов волноводных устройств пайкой, сваркой, точным , литьем, холодным выдавливанием, наращиванием металла; приводится выбор способа изготовления волноводных корпусов, технология изготовления миниатюрных полосковых волноводов.

Волноводные корпуса изготовляют литьем под давлением. Этим методом можно изготовить сложные волноводные детали, например уголковые изгибы, тройники, двойные тройники. Наиболее перспективно использование литья под давлением для изготовления волноводов дециметрового диапазона, что. связано с их относительно большими геометрическими размерами. 3 табл. 2.11 приведена сравнительная характеристика методов изготовления волноводного тройника и уголкового изгиба дециметрового диапазона.

движения электролита. Однако при серебрении с принудительной прокачкой электролита толщина покрытия по длине волновода неравномерна и качество его неодинаково. Так, для волноводов сечением 7,2 X 3,4, длиной 500 мм с одним изгибом при толщине покрытия у торцов 16—18 мкм в середине эта толщина составила 5—6 мкм при рыхлой и пористой структуре. В 'результате при такой технологии покрытия приходится увеличивать его толщину на краях волновода, чтобы в середине получить покрытие желаемой толщины. Это значительно удлиняет технологический процесс изготовления волноводов и повышает их стоимость.

Для изготовления волноводов из чередующихся металлических и диэлектрических колец, а также спиральных волноводов применяется фотохимический метод. В этом случае используется диэлектрическая трубка с металлизированной внутренней поверхностью. Металлизацию осуществляют химическим меднением с последующим увеличением толщины медного осадка гальваническим путем (см. § 5.1). Поверхность этого осадка покрывают светочувствительной эмульсией, по составу аналогичной эмульсии, используемой при производстве печатных схем. Сушка эмульсии ведется при непрерывном вращении заготовки вокруг оси, что позволяет получить равномерный слой эмульсии. Затем в полость волновода вводят стеклянную трубку-модель. На ее прозрачной поверхности нанесено изображение колец или спирали. Трубка-модель подсвечивается изнутри. После экспонирования, проявления и травления в хлорном железе на внутренней поверхности диэлектрической трубки образуется требуемый металлизированный рисунок. Точность при этом методе в пределах 5—6-го класса. Себестоимость таких волновых фильтров на 30—35% ниже, чем сборных фильтров.

Как видно из (3.22), вид частотной характеристики и устойчивая работа схемы определяются величинами произведений, входящих в формулу. Значения сопротивлений и емкостей, входящих в схему активных фильтров, лежат обычно в пределах, легко реализуемых в ИМС. Однако для обеспечения повторяемых параметров фильтра и устойчивой работы схемы точность выполнения этих элементов должна быть довольно высокой, часто порядка десятых долей процента. Это ограничивает возможности конструктивного исполнения активных фильтров в виде однородных полупроводниковых микросхем и вынуждает выбирать гибридно-пленочный вариант конструкции фильтров. Такое конструктивное исполнение допускает более точное изготовление элементов R, С или подгонку резисторов, которая возможна с точностью вплоть до 0,01%.

Изготовление элементов ИС производится в несколько этапов (от 3 до 15) с помощью фотолитографии и диффузии. Каждый раз на окисленную пластину кремния наносится тонкий слой светочувствительной эмульсии - фоторезиста, который засвечивается через сменные маски с различным числом и конфигурацией отверстий. После проявления и задубления фоторезиста в по-

8. Бушминский И. П. Изготовление элементов конструкций СВЧ Волноводы и волноводные устройства. — М.: Высшая школа, 1974. — 304 с.

ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЭЛЕМЕНТОВ НОМЕРНОЙ

Магнитномягкие материалы. Для уменьшения расхода материалов, идущих на изготовление элементов электрических машин и аппаратуры,

Кристаллического Кремния, а также воздуха, реализуетсй с помощью следующей группы технологических методов: «эпик»-процесс и его модификации; изоляция диэлектриком и поликристаллическим кремнием (VIP-процесс); метод воздушной изоляции («декаль»-метод); метод вертикального анизотропного травления (V—АТЕ-техноло-гия); изготовление элементов интегральных схем на диэлектрических подложках (сапфире или шпинели); изо-планарная технология; метод локальной эпитаксии.

Согласованные линейные фильтры для сигналов относительно простой формы обычно выполняют из элементов с постоянными параметрами. Однако по мере усложнения структуры сигнала выбор практической схемы, изготовление элементов, настройка и

0) с; ю « е* 0) к ? О * с; 0 ч о о. С Область применения сплавы Cu-Tl— РЬ (1 — 34 % Т1, 1-34 % РЬ и не менее 65 % Си) обладают хорошими антифрикционными свойствами, крррозвонноустой-чивы по отношению к смазке, содержащей кислоты. Аналогичный сплав с добавкой 1 — 10 % Sn обладает повышенной прочностью, низким коэффициентом трения и стойкостью против коррозии; сплав Си — Т1 (2 — 35 %), легированный 0,45 % In, обладает высокой коррозионной стойкостью; сплав Ag + 2 % Tl с высокими антифрикционными свойствами кор-розионностойкий, превосходит по эксплуатационным качествам сплавы Ag— РЬ, Си— РЬ. Сплавы Ag + 1-=-20 % Т1 с добавками Cd и In обладают высоким пределом усталости, очень низким коэффициентом трения и хорошей кислотоупорностью; сплавы Аи — Т1 (60 — 99 % Аи и 40— 1 % Т1) и Аи — Ag— Tl (25— 50 % Аи, 25 — 50 % Ag, 1 — 40 % Tl) — прецизионные антифрикционные сплавы с очень высокой коррозионной стойкостью, высоким пределом усталости и низким коэффициентом трения Германий \ Изготовление элементов кристаллических полупроводниковых приборов (кристаллические выпрямители, Диоды, кристаллические усилители — триоды и транзисторы), применяемых при изготовлении сложных устройств автоматики, телемеханики, счетно-решающих устройств. Изготовление термисторов, применяемых в автоматической и сигнальной аппаратуре. Изготовление фотодиодов и фотосопротивлений. Изготовление пленочных сопротивлений (тонкие пленки Ge на стекле или керамике) с R от 1000 Ом до нескольких МОм. Изготовление сплавов: 1) А1 — Qe (74 % Al -f 21 % Qe + 3 % Si) — материал для катодов электронных ламп, обладающий высокой эмиссией электронов; 2) Аи — Qe (8 % Qe) — материал для прецизионных отливок, обладающий свойством хорошо заполнять форму; 3) Аи — Qe (12 % Ge) легкоплавкий эвтектический сплав «пл = 356* С), предложенный в качестве твердого покрытия на Аи и золотого припоя с высокими свойствами; различные сплавы с Sb, Bi, As, Fe, Cu, Mg, Ni, Ag, Si, Tl, Sn, Zn Сслеи Изготовление фотоэлементов, применяющихся в различных автомати-

Изготовление элементов плазменных генераторов (преобразование тепловой энергии в электрическую) благодаря способности цезия переходить в плазменное состояние при сравнительно! невыокой температуре

Изготовление элементов на полиимидной пленочной подложке

Изготовление элементов конструкций СВЧ